oLED顯示器件的制備不管是實(shí)驗(yàn)室、中試,還是量產(chǎn),其制各過程基本一致,主要E2009T區(qū)別在于器件的真空蒸鍍?cè)O(shè)各上。實(shí)驗(yàn)室多選用手動(dòng)的真空蒸鍍?cè)O(shè)各進(jìn)行單片樣品蒸鍍,以便于制作種類不同的實(shí)驗(yàn)樣品;為了便于小批量產(chǎn)品的切換,中試線一般采用半自動(dòng)的真空蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行連續(xù)的多片樣品蒸鍍;量產(chǎn)線一般采用全自動(dòng)的真空蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行流水樣品蒸鍍(或采用線蒸鍍技術(shù)與工藝),以提高良品率、降低產(chǎn)品成本。在量產(chǎn)線上用旋涂技術(shù)工藝進(jìn)行生產(chǎn)OLED產(chǎn)品也在研究嘗試中。

   oLED顯示器件的制備工藝包括:ITO玻璃清洗艸光刻一再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層-真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護(hù)層一封裝→切割一測試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)及老化實(shí)驗(yàn)等十幾道工序,其幾個(gè)關(guān)鍵工序的工藝如下。