光和熱都會(huì)激化光刻膠里的敏感機(jī)制
發(fā)布時(shí)間:2017/1/29 17:26:30 訪問次數(shù):738
光和熱都會(huì)激化光刻膠里的敏感機(jī)制,而這些本來是應(yīng)該在受控的光刻工藝過程中來完成的。AD8073JR光刻膠必須在存儲和處理過程中受到保護(hù),以免產(chǎn)生不希望的反應(yīng),進(jìn)而影響到光刻工藝的結(jié)果。這就是為什么在光刻工藝區(qū)域使用螢光。光刻膠使用褐色的瓶子來存儲也是由于同樣的原因。彩色玻璃也可以保護(hù)光刻膠,以免受到雜散光的照射。正確的光刻膠存儲和運(yùn)輸需要把溫度嚴(yán)格地控制在生產(chǎn)商所要求范圍之內(nèi)。
黏性的控制對于良好的膜厚控制是最基本的。要想保持光刻膠的黏性,光刻膠在使用之前必須保持密封狀態(tài)。打開瓶子會(huì)使光刻膠里的溶劑蒸發(fā),光刻膠里的固體含量就會(huì)相應(yīng)增加,進(jìn)而光刻膠的黏性就會(huì)增強(qiáng)。如果光刻膠從塑料管中噴灑出來,那么這種塑料物質(zhì)必須經(jīng)過測試以保證光刻膠不會(huì)從這種物質(zhì)中滲出可塑劑。可塑劑會(huì)增加光刻膠的黏性。
光刻膠還可以存儲在密封的真空袋中。光刻膠在存儲和運(yùn)輸過程中都要受到保護(hù)。在使用過程中,光刻膠噴灑時(shí),密封袋連續(xù)塌進(jìn),以保證空氣不會(huì)到達(dá)光刻膠表面。
光刻膠容器都有推薦的保存期。問題在于光刻膠自身的聚合和光致溶解。隨著時(shí)間的推移,光刻膠里的聚合物會(huì)發(fā)生變化,當(dāng)光刻膠用于生產(chǎn)時(shí)它的性能就會(huì)受到影響。
不用說,所有用來噴灑光刻膠的設(shè)備都保持在盡可能潔凈的條件下。除了系統(tǒng)中顆粒污染物的影響,干化的光刻膠也會(huì)累積在光刻膠管內(nèi)進(jìn)而污染光刻膠,所以光刻膠管必須定期清洗。清洗代理商必須核賓它和光刻膠的兼容性。例如,三氯乙烯( TCE)不能用于負(fù)膠,因為它能在光刻膠中產(chǎn)生氣泡。
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黏性的控制對于良好的膜厚控制是最基本的。要想保持光刻膠的黏性,光刻膠在使用之前必須保持密封狀態(tài)。打開瓶子會(huì)使光刻膠里的溶劑蒸發(fā),光刻膠里的固體含量就會(huì)相應(yīng)增加,進(jìn)而光刻膠的黏性就會(huì)增強(qiáng)。如果光刻膠從塑料管中噴灑出來,那么這種塑料物質(zhì)必須經(jīng)過測試以保證光刻膠不會(huì)從這種物質(zhì)中滲出可塑劑。可塑劑會(huì)增加光刻膠的黏性。
光刻膠還可以存儲在密封的真空袋中。光刻膠在存儲和運(yùn)輸過程中都要受到保護(hù)。在使用過程中,光刻膠噴灑時(shí),密封袋連續(xù)塌進(jìn),以保證空氣不會(huì)到達(dá)光刻膠表面。
光刻膠容器都有推薦的保存期。問題在于光刻膠自身的聚合和光致溶解。隨著時(shí)間的推移,光刻膠里的聚合物會(huì)發(fā)生變化,當(dāng)光刻膠用于生產(chǎn)時(shí)它的性能就會(huì)受到影響。
不用說,所有用來噴灑光刻膠的設(shè)備都保持在盡可能潔凈的條件下。除了系統(tǒng)中顆粒污染物的影響,干化的光刻膠也會(huì)累積在光刻膠管內(nèi)進(jìn)而污染光刻膠,所以光刻膠管必須定期清洗。清洗代理商必須核賓它和光刻膠的兼容性。例如,三氯乙烯( TCE)不能用于負(fù)膠,因為它能在光刻膠中產(chǎn)生氣泡。
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