(1)薄膜電阻器

   所有膜式元器件中,薄膜電阻器的技術(shù)比較成熟;薄膜電阻器的種類繁多,但應(yīng)用HCPL-4506-000E最多的是鎳鉻電阻器和鉭系電阻器。常見的薄膜電阻器還包括單元素金屬薄膜電阻器、合金膜電阻器、鉭系薄膜電阻器和金屬陶瓷薄膜電阻器等。

   (2)薄膜電容器

   這類元器件的結(jié)構(gòu)與厚膜電容器基本相同,也是由兩組導(dǎo)體隔有中間介質(zhì)而構(gòu)成的。采用不同的介質(zhì)時(shí),薄膜電容器的電氣參數(shù)亦不同;常見的中間介質(zhì)包括一氧化硅、一氧化鍺、二氧化硅、二氧化鋯、二氧化鈦、二氧化鉿、二氧化錫、二氧化釷、二氧化鈰、二氧化鎂、二氧化二鋁、三氧化二釹、氮化硅、硫化鋅、鈦酸鋇、鈦酸錳等。

   (3)外貼元件

   厚膜技術(shù)制成的電阻器已經(jīng)比較成熟,但電容器的產(chǎn)量很少;通常的制作方法是以薄膜技術(shù)來制作電阻器、電容器和電感量很小的電感器,而將二極管、晶體管和半導(dǎo)體集成電路等有源器件外貼至集成塊內(nèi);同時(shí),為了提高電路功能、降低成本、保證電路設(shè)計(jì)的活 性,也可將某些電阻器、電容器和調(diào)諧元件外貼人混合集成電路塊中。