Ptsi探測器陣列是目前可實用的最大規(guī)模的紅外圖像傳感器,已生產(chǎn)的產(chǎn)品方形結(jié)構(gòu)面陣可達10z×10⒛元, FAS466/2405176矩形結(jié)構(gòu)最大媧0ד0元。還有帶16行或4行TDI功能的⒛鯧元和細%元長線列器件。PtSi探測器陣列除銦柱互連的混成結(jié)構(gòu)外,還有將信號處理電路做在探測器/讀出芯片四周的單片結(jié)構(gòu)。

   Pt⒏探測器可以做成大陣列,響應(yīng)均勻性好,成品率也高,許多Pt⒏熱像儀現(xiàn)已商售。Pt⒏的光譜響應(yīng)或量子效率隨波長呈指數(shù)衰減,在4um~5um光譜區(qū),PtSi器件的量子效率是很低的,通常為0.1%~1%。因此,Pt⒊不適合在低背景應(yīng)用場合。

   In乩探測器

    光伏In乩是gOK下中波波段性能最佳的一種探測器。IllSb材料是高度均勻的材料, 再與平面注人工藝相結(jié)合能使陣列響應(yīng)率的均勻性最佳�，F(xiàn)已有多種掃描和凝視用InSb陣列產(chǎn)品。

   溫度增加,Insb的光譜響應(yīng)向長波方向移動。但隨著工作溫度的提 高,I謂b器件的熱噪聲迅速增加。盡管如此,在高背景下,工作溫度升到145Κ還是可行的。Insb器件對衛(wèi)星應(yīng)用是十分有效的,因為在衛(wèi)星上依靠輻射制冷就可以實現(xiàn)這樣的低溫條件。

   InSb光伏探測器是中紅外波段常用的高性能器件,響應(yīng)快,靈敏度高,已用于多種全向攻擊性紅外導(dǎo)彈。這種器件的靈敏度隨工作溫度降低而提高,在刀K時響應(yīng)率最大,且比同溫度下的光電導(dǎo)器件約高一倍;響應(yīng)也比光電導(dǎo)器件快。但其工藝更難――增加成結(jié)工藝和形成P-N結(jié)臺面工藝。