氣相輸運過程是源蒸氣從源到襯底表面之間的質(zhì)量輸運過程。蒸氣原子在飛行過程中可能與真空室內(nèi)的殘余氣體分子發(fā)生碰撞,兩次碰撞之OCP2156TWAD間飛行的平均距離稱為蒸氣原子的平均自由程(λ)。

   基于氣體動力學(xué)原理,可得頁與真空室壓力(真空度)P的關(guān)系式為 ,d為原子半徑。頁與P成反比。

   真空室的真空度越高,蒸氣原子的平均自由程就越大。在圖89中源到襯底表面的距離為L,為避免從源到襯底表面蒸氣原子因碰撞被散射或能量降低,應(yīng)有頁)L。因此,蒸鍍時必須保持室內(nèi)真空度足夠高,使得從源逸出的原子以直線形式到達襯底表面。假設(shè)到達襯底的所有蒸氣原子都吸附并保留在襯底表面,且到達各襯底表面的原子流通量也相等,那么到達襯底表面的這些原子占從源蒸發(fā)的全部原子的比例應(yīng)是一常數(shù)(設(shè)為Κ)。由圖810所示的源和接受面的幾何一空間關(guān)系進行推導(dǎo),為源表面和襯底表面的方向角,當(dāng)蒸發(fā)源表面和襯底接受面在同一半徑為r球體的球面上時.