與象限探測(cè)器相比，PSD有如下優(yōu)點(diǎn)： ACF2101BU

   ①對(duì)光斑的形狀無(wú)嚴(yán)格要求，即輸出信號(hào)與光的聚焦無(wú)關(guān)，只與光的能量中心位置有關(guān)，這給測(cè)量帶來(lái)很多方便；

   ②光敏面上無(wú)須分割，消除了死區(qū)，可連續(xù)測(cè)量光斑位置，位置分辨率高，一維PSD可達(dá)0.2 ym;

   ③可同時(shí)檢測(cè)位置和光強(qiáng)。PSD器件輸出總光電流與入射光強(qiáng)有關(guān)，而各信號(hào)電極輸出光電流之和等于總光電流，所以從總光電流可求得相應(yīng)的入射光強(qiáng)。

   光電位置傳感器廣泛地應(yīng)用于激光束的監(jiān)控（對(duì)準(zhǔn)、位移和振動(dòng)）、平面度檢測(cè)和二維位置檢測(cè)系統(tǒng)。

   但是，PSD器件的固有特性決定了其具有非線性（圖9.44所示為型號(hào)為S1544的PSD，光斑直徑為200 ym時(shí)的非線性）。PSD的線性度主要取決于在制造過(guò)程中表面擴(kuò)散層和底層材料電阻率的均勻性，以及有效的感光面積等多種因素，而且非線性沒(méi)有明確的公式作為依據(jù)。一般而言，在距離中心2/3的范圍內(nèi)PSD的線性度較好。以浙江大學(xué)研究的國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的PSD為例，對(duì)于二維測(cè)量，PSD光敏面面積為3mmx3 mm．四邊形結(jié)構(gòu)，中央60%有效光敏區(qū)域的均方根非線性達(dá)到0.15%。如果將此器件應(yīng)用于大尺寸測(cè)量的位置探測(cè)，則光斑直徑不能大于1.8 mm，否則必須在PSD前方加入透鏡聚焦，這無(wú)疑增加了系統(tǒng)的誤差。