幾何量的檢測廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、裝配等領(lǐng)域，采用光電檢測的方法來實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測較之用機(jī)械或其他檢測方法具有很多突出的優(yōu)點(diǎn)，NB6381DL-LF-Z如非接觸、響應(yīng)快、測量對象多、材料適用性強(qiáng)、高分辨率等，當(dāng)然，它也存在諸如易受環(huán)境污染、需要準(zhǔn)直的光路等缺點(diǎn)。根據(jù)光電檢測原理不同，幾何量的光電檢測技術(shù)可分為幾何量圖像檢測技術(shù)和直接測量技術(shù)。直接測量技術(shù)主要用干涉儀或其他測量標(biāo)尺（光柵）進(jìn)行測量，而幾何量圖像檢測技術(shù)主要應(yīng)用CCD成像原理，通過計(jì)算機(jī)的圖像（或通過硬件的方法）識別邊緣，達(dá)到測量長度、孔徑等目的。

   眾所周知，光波在空間傳播過程中，會(huì)發(fā)生衍射和干涉。由于激光有波長短、頻率穩(wěn)定性好、相干性好、相干長度大等優(yōu)點(diǎn)，所以干涉儀一般采用氣體激光器（如氦氖激光器）作為光源。根據(jù)激光光源的模數(shù)（頻率）不同，激光干涉儀分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種。單頻激光干涉僅由于檢測信號是直流信號或緩慢變化的信號，存在電路的直流漂移的問題；同時(shí)單頻激光干涉儀對裝置的機(jī)械振動(dòng)十分敏感，所以單頻激光干涉儀測量精度較雙頻激光干涉儀低，應(yīng)用較少。

   為濾除干涉背景和直流放大器系統(tǒng)噪聲的影響，用交流測量系統(tǒng)代替直流測量系統(tǒng)，將信號頻譜移至高頻端，并利用拍波干涉進(jìn)行位移測量，即可抑制低頻干擾而改善信噪比，從而提高干涉儀小數(shù)部分的讀數(shù)精度。這就是利用外差技術(shù)的雙頻激光干涉儀。目前，雙頻測長的精度已超過0.01 ym，是工業(yè)測長中最精密的儀器。