在半導(dǎo)體、光學(xué)、精微機(jī)NAND512W3A2CN6E械等工業(yè)中日益要求有超高分辨率的表面輪廓測量儀器，以解決超精細(xì)表面的質(zhì)量檢測問題，特別是對大功率激光器、先進(jìn)的X光設(shè)備、航天制導(dǎo)系統(tǒng)中的一些關(guān)鍵器件的無接觸檢測。

   盡管干涉式輪廓儀問世已久，但由于抗振動(dòng)干擾性能一般都比機(jī)械觸針式輪廓儀差，因此其分辨率較低而不能充分發(fā)揮干涉測量的優(yōu)勢。針對這一問題，20世紀(jì)80年代開始出現(xiàn)激光差動(dòng)干涉儀，然后又研制出同軸式干涉輪廓儀，以適應(yīng)精微產(chǎn)品的測試。目前國際上能達(dá)到亞納米級靈敏度的同軸式干涉輪廓儀雖已有成功的研究成果，但它們有的僅適用于測量粗糙度，對于具有特定形貌的精細(xì)表面不能正確測量；有的只在特定條件下才能測出真實(shí)形貌。下面介紹一種同軸式高分辨率激光輪廓儀，它在研制成功差動(dòng)干涉儀的基礎(chǔ)上，發(fā)展成新的同軸式輪廓儀．成功地克服了形貌測不準(zhǔn)的難題。

    為同軸式干涉輪廓儀的光路原理圖。激光器1發(fā)出的已穩(wěn)頻的雙縱模激光是偏振面相互垂直的線偏振光，分光器2將光束分為參考光束和干涉光束，其中參考光束通過與偏振方向成45。角放置的偏振片P45。以后，會聚到雪崩管3并轉(zhuǎn)化為電信號，作為參考信號。干涉光束由平面鏡5反射，再由方解石晶體6分為兩束光，其中O光通過方解石晶體的中軸線聚焦于物鏡9的后焦面.