國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)對(duì)表面粗糙度測(cè)量的要求是實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量，而光散射原理正好與之吻合，它NAND512W3A2CN6可實(shí)現(xiàn)表面的面積采樣，同時(shí)所形成的散射光帶光能分布和表面微觀形貌高度變化有較清晰的對(duì)應(yīng)關(guān)系。利用光散射法測(cè)量表面粗糙度可滿足快速動(dòng)態(tài)、高精度、無損檢測(cè)及抗干擾性能強(qiáng)的要求。還有不少學(xué)者提出以其作為表面粗糙度基本儀器來改變基于傳統(tǒng)觸針式儀器的形狀，從而推動(dòng)新原理、新儀器的發(fā)展，滿足生產(chǎn)實(shí)際的需要�；谶@種原理，人們提出了一種激光散射法在線檢測(cè)表面粗糙度的方法。

   激光散射法在線檢測(cè)表面粗糙度的光學(xué)原理圖，半導(dǎo)體激光器1輸出光功率為3 mW、波長(zhǎng)為780 nm的光束，該激光束通過偏振片3成為線偏振光，偏搌方向平行于紙面，分光鏡11將光束一分為二，其中反射光占大部分。經(jīng)分光鏡11反射的一束光為測(cè)量光束，該光束經(jīng)平面鏡4反射，調(diào)整分光鏡11和平面鏡4的角度，使該光束經(jīng)平面鏡4反射后，最后由圖11.10所示的位置入射到測(cè)量透鏡6(廠=40 mm，D=30 mm)上，經(jīng)測(cè)量透鏡6會(huì)聚后，到達(dá)工件表面，經(jīng)工件表面散射后，形成與工件表面加工紋理方向垂直的散射帶。

    經(jīng)分光鏡11透射的另一束光為對(duì)準(zhǔn)光束，該光束經(jīng)分光鏡11透射后的位置入射到測(cè)量透鏡6上，經(jīng)測(cè)量透鏡6會(huì)聚后，到達(dá)工件表面，被工件表面散射，形成另一個(gè)與工件表面加工紋理方向垂直的散射帶。這樣，由測(cè)量光束形成的散射帶和由對(duì)準(zhǔn)光束形成的散射帶相互平行，但是位于透鏡光軸的兩側(cè)，這兩條散射帶是不會(huì)互相干擾的。測(cè)量光束形成的散射帶通過測(cè)量透鏡后成為平行光束，然后經(jīng)由反射鏡8反射到光電二極管接收陣列9上轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。對(duì)準(zhǔn)光束形成的散射帶經(jīng)過孔徑光闌5和反射鏡10后也被光電二極管接收陣列接收并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。由于這兩條散射帶在空間上相互平行，并且還有一定的距離，再加上孔徑光闌5的作用，這兩條散射帶不會(huì)在光電二極管接收陣列9上相互重疊。另外，垂直入射的對(duì)準(zhǔn)光束與光軸有一個(gè)偏心距，此外還有孔徑光闌的作用，因此光路申基本上沒有回光。