Asyst技術(shù)公司日前宣布，東芝(Toshiba Corporation)在日本新建的12英寸晶圓廠已決定采用Asyst公司的“表現(xiàn)級(jí)晶圓廠自動(dòng)化架構(gòu)”(Performance Automation Architecture)。

據(jù)介紹，這套架構(gòu)結(jié)合Asyst的“自動(dòng)化物質(zhì)處理系統(tǒng)”(automated material handling system, AMHS)、大氣裝載端口(atmospheric loadports)、射頻識(shí)別(radio-frequency identification, RFID)追蹤系統(tǒng)和自動(dòng)優(yōu)化(Automation Optimization)軟件及其服務(wù)，可為東芝提供整合晶圓廠自動(dòng)化解決方案。

東芝的新廠房選用了Asyst的合資企業(yè)——Asyst-Shinko公司的AMHS、先進(jìn)12英寸晶圓裝載端口(loadport)——IsoPort，以及Asyst的射頻識(shí)別系統(tǒng)AdvanTag。AdvanTag將作為新廠房中主要的記錄工具，以跟蹤廠內(nèi)50%以上的裝載端口，以及所有物料運(yùn)送和正在處理材料的情況。