摘 要：本丈介紹了臺灣微電子技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r，以此作為我們同行的借鑒。

關(guān)鍵詞：臺灣；微電子；技術(shù)；產(chǎn)業(yè)

7 臺灣的GaAs加工線

GaAs市場被廣泛認為是半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展最迅速的領(lǐng)地。2000年比1999年增長約60％，器件銷售總額高于180億美元。在無線通信和光電子以及LED發(fā)光產(chǎn)品需求不斷增長的預(yù)測刺激下，該領(lǐng)域似乎就為2002年底的快速發(fā)展作好了準(zhǔn)備。但是，GaAs領(lǐng)域卻與半導(dǎo)體市場蕭條一樣出現(xiàn)了戲劇性地疲軟現(xiàn)象，SiGe HBT技術(shù)的發(fā)展也給市場預(yù)測來了個釜底抽薪，使芯片制造商追求用低成本的CMOS技術(shù)生產(chǎn)通信器件，而不是用高成本的GaAs技術(shù)。

最近10年，許多公司已經(jīng)籌建了GaAs加工線，想以此向大規(guī)模批量生產(chǎn)轉(zhuǎn)化。臺灣省已經(jīng)成為GaAs加工線發(fā)展中心(見表6)。
      
      

急轉(zhuǎn)直下的市場和SiGe和InP技術(shù)，制約了臺灣GaAs工業(yè)的發(fā)展。為了避開競爭對手SiGe和InP技術(shù)，GaAs IC的設(shè)計和制造在不斷地改進。雖然生產(chǎn)量減小，但也不能阻礙層出不窮的更新更好的設(shè)計成果。然而，GaAsIC的應(yīng)用壽命周期往往較短，沒有掌握好進入市場的時間就不能發(fā)揮很好的經(jīng)濟效益。

加工線抓住了這個可利用的因素，打時間差，在較短的周期時間內(nèi)，必須采取多設(shè)計、小批量生產(chǎn)手段，使產(chǎn)品盡早投入市場，延長發(fā)揮經(jīng)濟效益的壽命周期。許多公司利用他們的設(shè)計和高生產(chǎn)率的Si生產(chǎn)線運作經(jīng)驗，借助大量的工藝設(shè)計成功地實現(xiàn)了這個目標(biāo)。對于小批量GaAs生產(chǎn)線而言，雖然這種初期的投資往往顯得太大，但從長遠考慮，加工線的附加功能性、延展性和生產(chǎn)率的優(yōu)越性就能發(fā)揮出來。

先進的制造設(shè)備不僅能容易進行工藝控制，而且也能容易改進工藝和精選工藝條件，以滿足經(jīng)常變化的設(shè)計要求。這些設(shè)備提供了可加工生產(chǎn)φ150mm基片的加工線能力，加工產(chǎn)量高，在短時間內(nèi)能提供隨時要求增加產(chǎn)量的產(chǎn)品。利用有效的工廠控制系統(tǒng)，如現(xiàn)場在線運行控制系統(tǒng)和信息管理系統(tǒng)，加工線能可靠地監(jiān)控其產(chǎn)出量、改進電路成品率，降低材料消耗及相關(guān)成本。

不管市場千變?nèi)f化，臺灣GaAs加工線的開發(fā)和服務(wù)受Si加工線和TSMC和UMC兩家公司加工線成功經(jīng)驗的啟發(fā)，得到了有力的開發(fā)。1991年，Hexawave光子系統(tǒng)公司成為臺島建立的第一家GaAs加工線，在新竹科技工業(yè)園辦了工廠。

七年以后，先進無線半導(dǎo)體公司(AWSC)在臺南的南部城市建了廠。2001年，AWSC公司已成為臺灣最大的GaAs加工線，每周生產(chǎn)φ100mm的圓片1200片。該公司2003年打算再建一個φ150mm的代加工新線。

1999年，WIN半導(dǎo)體公司在臺灣建立了第一家φ150mm GaAs加工線。WIN公司在linkou的工廠每周生產(chǎn)約200片φ150mm的圓片，但該公司打算到2005年擴產(chǎn)到2000片／周。

臺灣進入代加工市場最晚的公司是Transcom公司(總部在臺南)。但它聲稱是島內(nèi)第一家提供PHEMT技術(shù)的公司。該公司現(xiàn)有的φ75mm和φ100mm的制造工廠，具有300片／周的生產(chǎn)能力，其中分為代加工產(chǎn)品和本公司自主產(chǎn)品。該公司希望提高該廠的產(chǎn)能，到2002年底達到700片／周以上。

隨著GaAs器件市場的下滑，很可能會使一些公司的許多擴產(chǎn)計劃延遲，或許不會實現(xiàn)。實際上，在競爭激烈的今天，似乎一些加工線會因經(jīng)不住市場下滑的考驗而被淘汰。而新一代加工線的工廠最近才開始生產(chǎn)，但尚未采用大規(guī)模制造方法。目前，他們的主要問題是資金，盼望來自美國和日本GaAs制造廠商的大量投資。在目前財政困難的情況下，這些“母”公司必須保證在這些加工線的地區(qū)和未來要有一個良好的市場。

大多數(shù)公司在籌建加工線時必須考慮兩個問題：一是市場轉(zhuǎn)變(產(chǎn)品適應(yīng)市場)需要一到二年的時間。必須尋找資金投入少、產(chǎn)品更新快的設(shè)計和開發(fā)手段。二是大多數(shù)GaAs IC制造廠商的產(chǎn)品也將適時進入同樣顯露的市場�？梢娦缕骷母偁帉⑹窍喈�(dāng)激烈的。芯片廠商必須為器件增加特有的優(yōu)勢，以保證它與對手競爭時的優(yōu)勢。 總之，臺灣為大批量生產(chǎn)GaAs IC而建立的GaAs加工線的發(fā)展趨勢是以小批量生產(chǎn)，少量投資為特點。所建的Fab能發(fā)揮適應(yīng)市場需求的優(yōu)勢。

8 臺灣的主要IC制造公司

8．1 聯(lián)合微電子公司(UMC)

UMC是臺灣最老的IC生產(chǎn)廠，建于1980年，UMC在1982年開始提供Foundry服務(wù)，現(xiàn)在成為專業(yè)IC Foundry。作為服務(wù)的一部分，該公司通過國家互聯(lián)網(wǎng)提供最新的標(biāo)記化生產(chǎn)數(shù)據(jù)，允許用戶接收安全可控的24小時在線服務(wù)，瀏覽交貨計劃和實時硅片加工狀況以及工程信息等。 UMC公司在臺南科技工業(yè)園投資180億美元，興建6條Fab。第一條設(shè)計能力為60000片／月的φ200mm生產(chǎn)線在1999年開始投產(chǎn)，全自動環(huán)境下設(shè)計規(guī)則為0．16μm—0．18μm。投資19．8億美元。1999年，再開始建5條φ300mm的生產(chǎn)線，每1-2年建成一座，月產(chǎn)20000片，2007年前建成。UMC公司的Fab情況如表7所示。