傳感器已經(jīng)成為當今世界不可或缺的一部分�，F(xiàn)代汽車中已經(jīng)采用了數(shù)十種傳感器.其應用范圍從簡單的位置傳感器到多軸MEMs加速度計和陀螺儀。這些傳感器在增強了汽車發(fā)動機的性能以及穩(wěn)定性的同時,也保證了汽車發(fā)動機符合環(huán)保標準,并且提升了汽車乘用者的舒適度與安全性。另外一個例子,現(xiàn)代家庭中也使用了多種傳感器,其范圍包括簡單的溫度控制器到紅外運動傳感器以及熱式流量傳感器。而最能體現(xiàn)傳感器普遍性的例子或許就是移動電話了,其已經(jīng)從單一的通信設備逐步發(fā)展成為名副其實的傳感器應用平臺。一部典型的手機包含了多種傳感器,如觸摸傳感器、送話器、一個或兩個圖像傳感器、慣性傳感器、磁性傳感器和可以感知環(huán)境溫度、壓力甚至濕度的傳感器。這些傳感器連同GPS(Globd Positioni吧助stem,全球定位系統(tǒng))定位接收器一起,一方面使得移動電話的操作更簡易,同時也大大拓展了移動電話的功能用途,使其所扮演的角色已遠遠超過最初的手提電話功能。

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   如今,手機中大部分傳感器與大多數(shù)用于普通消費類電子產(chǎn)品中的傳感器一樣,都是由硅材料制造的c這主要是因為硅基傳感器可以利用大型半導體代工廠進行低成本的大規(guī)模量產(chǎn)。另一個使用硅基的原因是容易實現(xiàn)為傳感器提供偏置或處理傳感器輸出信號的電路系統(tǒng)與傳感器的單片集成或者至少同一封裝集成。此外,半導體級硅是一種高純度的材料,具有特定的物理性質,有些可以通過摻雜來調控性能,還有些可以實現(xiàn)納米尺度的微細加工。