這種技術(shù)的一個(gè)例子是使用加熱器和溫度傳感器來穩(wěn)定傳感器的溫度。通常選擇超過傳感器使用環(huán)境溫度的溫度范圍,主要是因?yàn)樵谛酒线M(jìn)行有效冷卻很難實(shí)現(xiàn)。因此,維持溫度穩(wěn)定的微型加熱爐得以制作實(shí)現(xiàn),使得傳感器在其內(nèi)部可以工作在預(yù)先設(shè)定好的固定溫度下。這樣一個(gè)恒溫傳感器與環(huán)境溫度的變化隔離,減少了校準(zhǔn)過程中需要對這些變化對交叉敏感性的影響或者如何補(bǔ)償進(jìn)行考慮。注意,這樣一個(gè)過大的傳感器框圖與圖2。⒛中所示的傳感器略有不同,因?yàn)榧訜崞鳑]有產(chǎn)生附加到環(huán)境溫度中的溫度。相

反,它通過微型加熱爐與外界環(huán)境之間的熱電阻產(chǎn)生了一個(gè)熱通量,以決定微型加熱爐內(nèi)部的溫度。

   DD800S33K2C 

   例如,溫度穩(wěn)定化技術(shù)能夠用來減少聲表面波(SAW)氣體傳感器對溫度的交叉靈敏度[46,47]。正如在2.3.2節(jié)中討論的那樣,交叉靈敏度的一階補(bǔ)償可以通過使用與溫度相關(guān)的沒有化學(xué)敏感層的SAW器件去抵消帶敏感層的SAW器件來實(shí)現(xiàn)。但是,因?yàn)檫@些器件之間不能完美匹配,殘余的溫度相關(guān)性仍然保留了下來,這可以通過穩(wěn)定SAW器件的溫度來消除。這個(gè)設(shè)計(jì)在本章參考文獻(xiàn)中有詳細(xì)描述,通過使用集成的智能溫度傳感器和鋁加熱器來實(shí)現(xiàn)。這些

器件被密封在熱接觸良好的SAW器件中,封裝結(jié)構(gòu)保證了器件與環(huán)境的熱隔離效果。這個(gè)溫度傳感器和加熱器被集成在一個(gè)控制回路,可編程的溫度范圍在硐~1⒛℃內(nèi),來穩(wěn)定SAW傳感器的溫度在設(shè)置點(diǎn)誤差控制在±0.01℃內(nèi)。因此,SAW傳感器可以工作在使它的靈敏度和響應(yīng)時(shí)間最佳的溫度上,并且不會(huì)受到環(huán)境溫度變化的影響。