在低頻率時(shí)運(yùn)動(dòng)傳感器使用動(dòng)態(tài)偏移補(bǔ)償(Dymamic offset Compensation, DOC)技術(shù)實(shí)現(xiàn)低噪聲。傳感器包含兩個(gè)主要模塊:一個(gè)無源MEMS加速度計(jì)和一個(gè)面向特定應(yīng)用的接口集成電路(AsIC)。MEMS傳感器是一個(gè)無源表面微機(jī)械加速度計(jì),具有1fF/g的分辨率。ATMEGA16L8Au由于寄生效應(yīng)分流了系統(tǒng)和典型時(shí)鐘電壓,假設(shè)傳感器的輸出電壓是1mV/g,這樣小于5mg的傳感器分辨率要求需要在0.1~10Hz帶寬內(nèi)5uⅤ的前端電壓穩(wěn)定性。這種穩(wěn)定性要求是可以依靠面積大的晶體管來實(shí)現(xiàn),但是受限于有限的空間,只好應(yīng)用1〃噪聲偏高的小尺寸晶體管。電容式MEMS傳感器的讀出需要交流勵(lì)磁,相關(guān)雙采樣(CDs)技術(shù)用于抑制接口電路的1〃噪聲。

   圖8,9 慣性傳感細(xì)節(jié):具有MEMS傳感器的加速度傳感器在左邊,自定義集成 感應(yīng)接口電路在右邊,物理連接展示在照片的右邊,最終傳感器進(jìn)行封裝 以完成制作加工[經(jīng)IEEE(Ref:”B9780g51019)許可引用]