基于霍爾效應(yīng)的磁場(chǎng)傳感器也受到溫度交叉靈敏度的影響。然而,它們也對(duì)傳感器芯片外露的塑料封裝所產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力敏感。雖然由這樣的應(yīng)力引起的誤差能夠被生產(chǎn)校準(zhǔn)補(bǔ)償,然而應(yīng)力漂移引起的誤差則不能補(bǔ)償。例如,在傳感器的有效使用期內(nèi),這樣的漂移可能由封裝中吸收的水分引起。在本章參考文獻(xiàn)中,一款集成的磁場(chǎng)傳感器被描述成一個(gè)霍爾傳感器與溫度傳感器和壓力傳感器的組合,用來(lái)補(bǔ)償這樣的應(yīng)力漂移。所有3個(gè)傳感器的輸出都是數(shù)字化的,漂移的應(yīng)力是由在產(chǎn)品校準(zhǔn)過(guò)程中進(jìn)行的測(cè)量并且存儲(chǔ)在芯片EEPR0M上的應(yīng)力值與最初的應(yīng)力相比較而獲得的。測(cè)得的磁通密度用來(lái)補(bǔ)償漂移。因此,磁場(chǎng)靈敏度的漂移從幾個(gè)百分點(diǎn)減少到低于±0.5%。在此說(shuō)明,對(duì)霍爾傳感器另一種自校準(zhǔn)方法將在2.3.4節(jié)中詳細(xì)討論。

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    交叉靈敏度補(bǔ)償方法的一個(gè)變通是在自校準(zhǔn)電化學(xué)氣體傳感器中的應(yīng)用,在本章參考文章[z~s]中有具體闡述。電化學(xué)氣體傳感器是用來(lái)測(cè)量氧氣和一氧化碳等氣體濃度的,它們的催化表面積對(duì)漂移非常敏感。由于導(dǎo)致靈敏度和響應(yīng)時(shí)間的漂移變化,它們通常需要每隔幾周就要進(jìn)行重新校準(zhǔn)。這個(gè)問(wèn)題可以通過(guò)傳感器工作期間測(cè)量的感測(cè)電極的電阻抗獲得表面積來(lái)減輕。這些間接測(cè)量的表面積能夠用來(lái)修正傳感器讀數(shù)。因此,初始漂移引起的sO%的大誤差已經(jīng)減少到低于10%。

    差分傳感――圖2,10a顯示了一種交叉靈敏度補(bǔ)償?shù)奶娲椒?兩個(gè)傳感器 是這樣使用的,它們檢測(cè)相同的測(cè)量值,但信號(hào)符號(hào)相反。兩個(gè)傳感器對(duì)于量C都是交叉敏感的。假如C在傳感器的輸出引人一個(gè)額外的誤差(也就是說(shuō),假如交叉靈敏度與被測(cè)量值X獨(dú)立),這個(gè)誤差能夠通過(guò)提取輸出值間的差值而被補(bǔ)償。只有兩種傳感器在某種程度上匹配,并且以同等程度接觸變量C時(shí),補(bǔ)償才是有效的。然而這樣的匹配不絕對(duì)完美,但是常常對(duì)所有交叉靈敏度都減少一個(gè)量級(jí)是可行的。差分傳感的附加優(yōu)勢(shì)是它也補(bǔ)償傳感器的偏移和偶數(shù)階非線性度,某種程度上再次增加了性能的匹配度。