MEMS加速度計，它的工作原理就是靠MEMS中可移動部分的慣性。由于中間電容板的質(zhì)量很大，而且它是一種懸臂構(gòu)造，當(dāng)速度變化或者加速度達到足夠大時，它所受到的慣性力超過固定或者支撐它的力，這時候它會移動，它跟上下電容板之間的距離就會變化，上下電容就會因此變化。電容的變化跟加速度成正比。根據(jù)不同測量范圍，中間電容板懸臂構(gòu)造的強度或者彈性系數(shù)可以設(shè)計得不同。還有如果要測量不同方向的加速度，這個MEMS的結(jié)構(gòu)會有很大的不同。電容的變化會被另外一塊專用芯片轉(zhuǎn)化成電壓信號，有時還會把這個電壓信號放大。電壓信號在數(shù)字化后經(jīng)過一個數(shù)字信號處理過程，在零點和靈敏度校正后輸出。

加速度計還有一個自測試功能。當(dāng)它剛通電時，邏輯控制會向自測試電路發(fā)出命令。自測試電路產(chǎn)生一個直流電壓加載到MEMS芯片的自測試電路板上，中間可活動電容板就會因靜電吸引而下移。接下來的處理過程跟測試真的加速度一樣。

ADSP-TS20xS TigerSHARC®處理器是一款高性能的靜態(tài)超標(biāo)量數(shù)字信號處理器，針對醫(yī)療健康、國防/航空和通訊基礎(chǔ)設(shè)施等應(yīng)用，該處理器專為大規(guī)模信號處理和通信任務(wù)在結(jié)構(gòu)上進行了優(yōu)化。

82945G、BD3450和AC82GM45芯片組產(chǎn)品，將繼續(xù)為x86處理器和芯片組提供長期供貨支持。該產(chǎn)品廣泛用于工業(yè)和醫(yī)療等應(yīng)用的嵌入式PC產(chǎn)品中。該芯片組與羅徹斯特電子的現(xiàn)有庫存非常匹配，如超過230,000片 Celeron系列和超過500,000片的Pentium系列微處理器。

對于使用x86微處理器作為嵌入式PC產(chǎn)品核心的行業(yè)，長期可靠的供貨渠道則顯得至關(guān)重要。為了對基于Intel x86的設(shè)計提供可持續(xù)支持，羅徹斯特電子擁有超過100萬片相關(guān)的現(xiàn)貨庫存，其中包括80386、80486、Pentium、Celeron和Xeon微處理器等200多種產(chǎn)品型號。

rpmh以Draper實驗室為代表的研究機構(gòu)和大學(xué)的主要工作在于提升MEMS加速度計的技術(shù)指標(biāo)。能夠提供實用化MEMS加速度計產(chǎn)品的主要廠家有ADI、Silicon Designs、Silicon Sensing、Endevco和瑞士的Colibrys公司。

對角速率敏感的MEMS陀螺儀角速度計受到越來越多的關(guān)注。根據(jù)性能指標(biāo)，MEMS陀螺儀同樣可以分為三級：速率級、戰(zhàn)術(shù)級和慣性級。速率級陀螺儀可用于消費類電子產(chǎn)品、手機、數(shù)碼相機、游戲機和無線鼠標(biāo);戰(zhàn)術(shù)級陀螺儀適用于工業(yè)控制、智能汽車、火車、汽船等領(lǐng)域;慣性級陀螺儀可用于衛(wèi)星、航空航天的導(dǎo)航、制導(dǎo)和控制。

MEMS陀螺儀角速度計(MEMS gyroscope)，其工作原理是利用角動量守恒原理及科里奧效應(yīng)測量運動物體的角速率。它主要是一個不停轉(zhuǎn)動的物體，它的轉(zhuǎn)軸指向不隨承載它的支架的旋轉(zhuǎn)而變化。

與加速度計工作原理相似，陀螺儀的上層活動金屬與下層金屬形成電容。當(dāng)陀螺儀轉(zhuǎn)動時，他與下面電容板之間的距離機會發(fā)生變化，上下電容也就會因此而改變。電容的變化跟角速度成正比，由此我們可以測量當(dāng)前的角速度。