射頻阻抗匹配的基本原理和常見的匹配網(wǎng)絡(luò)類型，以串并聯(lián)電容組成的Г型匹配網(wǎng)絡(luò)為例，利用史密斯圓圖，阻抗匹配的工作原理。介紹射頻等離子技術(shù)在微電子工藝設(shè)備中的應(yīng)用。自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)的檢測(cè)電路、電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路和控制電路，提出了優(yōu)化自動(dòng)阻抗匹配能力的方法。

等離子體被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體加工技術(shù)在薄膜制備、清洗等微電子工藝設(shè)備中有廣泛的應(yīng)用。射頻經(jīng)過匹配網(wǎng)絡(luò)后，加到真空室里面反應(yīng)氣體電離產(chǎn)生等離子體。由于腔室壓力、氣體流量等工藝參數(shù)的變化，其等效負(fù)載阻抗會(huì)發(fā)生波動(dòng)，造成阻抗失配，反射功率增大。反射功率會(huì)返回到射頻源內(nèi)部，變成熱量損耗，也會(huì)在傳輸線上產(chǎn)生駐波高壓，容易損壞射頻源內(nèi)部器件，嚴(yán)重時(shí)造成輝光不穩(wěn)定，影響加工產(chǎn)品的性能。隨著技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品升級(jí)，在工藝上對(duì)等離子體的穩(wěn)定性和阻抗匹配的快速性等要求越來越高，因此良好的自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)顯得尤其重要。

制造商: Texas Instruments

產(chǎn)品種類: 開關(guān)穩(wěn)壓器

RoHS: 詳細(xì)信息

安裝風(fēng)格: SMD/SMT

封裝 / 箱體: VQFN-14

輸出電壓: 1 V to 34.2 V

輸出電流: 6 A

輸出端數(shù)量: 1 Output

最大輸入電壓: 36 V

拓?fù)浣Y(jié)構(gòu): Buck

最小輸入電壓: 3 V

開關(guān)頻率: 200 kHz to 2.2 MHz

最小工作溫度: - 40 C

最大工作溫度: + 150 C

封裝: Cut Tape

封裝: MouseReel

封裝: Reel

輸入電壓: 3 V to 36 V

靜態(tài)電流: 0.6 uA

類型: Low EMI

商標(biāo): Texas Instruments

關(guān)閉: Shutdown

濕度敏感性: Yes

產(chǎn)品類型: Switching Voltage Regulators

工廠包裝數(shù)量: 3000

子類別: PMIC - Power Management ICs

電源電壓-最小: 3 V

單位重量: 30.800 mg

一種以8255A為控制芯片，利用模/數(shù)、數(shù)/模轉(zhuǎn)換控制器對(duì)交流自整角機(jī)信號(hào)進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)字采集和模擬轉(zhuǎn)換處理的控制方法，模/數(shù)轉(zhuǎn)換器完成對(duì)外部輸入的交流自整角機(jī)模擬信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化采集發(fā)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，數(shù)/模轉(zhuǎn)換器完成對(duì)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的控制數(shù)據(jù)進(jìn)行自整角機(jī)模擬化轉(zhuǎn)換后發(fā)外部設(shè)備，8255A完成對(duì)轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)進(jìn)行輸入輸出控制。該控制方法具有控制靈活、電路簡單、實(shí)時(shí)性強(qiáng)、可靠性高等特點(diǎn)，在火控系統(tǒng)中得到廣泛應(yīng)用。

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