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雙反應(yīng)臺腔體設(shè)計和低電容耦合3D線圈設(shè)計

發(fā)布時間:2021/5/28 20:28:21 訪問次數(shù):188

低邊驅(qū)動器用在控制芯片與功率MOSFET之間,以幫助減小開關(guān)損耗,并為MOSFET提供足夠的驅(qū)動電流,以跨過米勒平臺區(qū)域,實現(xiàn)快速打開。

從上面等式可以看出,負向電壓與寄生電感和電流變化率均成正比。

在開關(guān)MOSFET的時候,有一個高di/dt的脈沖產(chǎn)生,這種快速變化與寄生電感共同作用,產(chǎn)生了負電壓峰值,可以用Vn = Lss* di/dt公式估算。

防止驅(qū)動器輸入端的過沖和欠壓尖峰過大,而對驅(qū)動芯片造成損壞,或產(chǎn)生誤動作。

制造商:MaxLinear產(chǎn)品種類:RS-232接口集成電路RoHS: 安裝風(fēng)格:SMD/SMT封裝 / 箱體:SSOP-28系列:功能:Transceiver數(shù)據(jù)速率:120 kb/s激勵器數(shù)量:4 Driver接收機數(shù)量:5 Receiver雙工:Full Duplex電源電壓-最大:5.5 V電源電壓-最小:4.5 V工作電源電流:15 mA最小工作溫度:- 40 C最大工作溫度:+ 85 CESD 保護:15 kV封裝:Cut Tape封裝:MouseReel封裝:Reel高度:1.75 mm長度:10.2 mm輸出電流:25 mA產(chǎn)品:RS-232 Transceivers電源類型:Single Supply類型:Low Power寬度:5.3 mm商標(biāo):MaxLinear關(guān)閉:With Shutdown濕度敏感性:Yes工作電源電壓:5 VPd-功率耗散:900 mW產(chǎn)品類型:RS-232 Interface IC傳播延遲時間:1.5 us, 0.15 us支持協(xié)議:RS-2321500子類別:Interface ICs商標(biāo)名:零件號別名:SP213E單位重量:710 mg


它的創(chuàng)新設(shè)計包括:Primo Twin-Star®使用了雙反應(yīng)臺腔體設(shè)計和低電容耦合3D線圈設(shè)計,創(chuàng)新的反應(yīng)腔設(shè)計可最大程度減弱非中心對稱抽氣口效應(yīng),通過采用多區(qū)溫控靜電吸盤(ESC)增強了對關(guān)鍵尺寸均勻性和重復(fù)性的控制。

憑借這些優(yōu)異的性能和其他特性,與其他同類設(shè)備相比,Primo Twin-Star® 以更小的占地面積、更低的生產(chǎn)成本和更高的輸出效率,進行ICP適用的邏輯和存儲芯片的介質(zhì)和導(dǎo)體的各種刻蝕應(yīng)用,并用于功率器件和CMOS圖像傳感器(CIS)的刻蝕應(yīng)用。


(素材來源:ttic和eccn.如涉版權(quán)請聯(lián)系刪除。特別感謝)

低邊驅(qū)動器用在控制芯片與功率MOSFET之間,以幫助減小開關(guān)損耗,并為MOSFET提供足夠的驅(qū)動電流,以跨過米勒平臺區(qū)域,實現(xiàn)快速打開。

從上面等式可以看出,負向電壓與寄生電感和電流變化率均成正比。

在開關(guān)MOSFET的時候,有一個高di/dt的脈沖產(chǎn)生,這種快速變化與寄生電感共同作用,產(chǎn)生了負電壓峰值,可以用Vn = Lss* di/dt公式估算。

防止驅(qū)動器輸入端的過沖和欠壓尖峰過大,而對驅(qū)動芯片造成損壞,或產(chǎn)生誤動作。

制造商:MaxLinear產(chǎn)品種類:RS-232接口集成電路RoHS: 安裝風(fēng)格:SMD/SMT封裝 / 箱體:SSOP-28系列:功能:Transceiver數(shù)據(jù)速率:120 kb/s激勵器數(shù)量:4 Driver接收機數(shù)量:5 Receiver雙工:Full Duplex電源電壓-最大:5.5 V電源電壓-最小:4.5 V工作電源電流:15 mA最小工作溫度:- 40 C最大工作溫度:+ 85 CESD 保護:15 kV封裝:Cut Tape封裝:MouseReel封裝:Reel高度:1.75 mm長度:10.2 mm輸出電流:25 mA產(chǎn)品:RS-232 Transceivers電源類型:Single Supply類型:Low Power寬度:5.3 mm商標(biāo):MaxLinear關(guān)閉:With Shutdown濕度敏感性:Yes工作電源電壓:5 VPd-功率耗散:900 mW產(chǎn)品類型:RS-232 Interface IC傳播延遲時間:1.5 us, 0.15 us支持協(xié)議:RS-2321500子類別:Interface ICs商標(biāo)名:零件號別名:SP213E單位重量:710 mg


它的創(chuàng)新設(shè)計包括:Primo Twin-Star®使用了雙反應(yīng)臺腔體設(shè)計和低電容耦合3D線圈設(shè)計,創(chuàng)新的反應(yīng)腔設(shè)計可最大程度減弱非中心對稱抽氣口效應(yīng),通過采用多區(qū)溫控靜電吸盤(ESC)增強了對關(guān)鍵尺寸均勻性和重復(fù)性的控制。

憑借這些優(yōu)異的性能和其他特性,與其他同類設(shè)備相比,Primo Twin-Star® 以更小的占地面積、更低的生產(chǎn)成本和更高的輸出效率,進行ICP適用的邏輯和存儲芯片的介質(zhì)和導(dǎo)體的各種刻蝕應(yīng)用,并用于功率器件和CMOS圖像傳感器(CIS)的刻蝕應(yīng)用。


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