MEMS熱電偶實現(xiàn)高靈敏度空氣流速監(jiān)控測量低電平信號
發(fā)布時間:2021/10/28 22:08:55 訪問次數(shù):401
FS1015和FS3000傳感器采用一系列MEMS熱電偶實現(xiàn)高靈敏度空氣流速監(jiān)控。
兩款產(chǎn)品都可以測出最高15米/秒的直流空氣流速,使系統(tǒng)控制能夠快速做出調整,在提供閉環(huán)控制的同時提高效率并降低成本。得益于有源MEMS傳感元件的固體熱隔離以及碳化硅薄膜涂層,這兩款產(chǎn)品都具有出色的耐磨性和長期可靠性。
FS1015采用28.2mm × 14.2mm × 7.3mm封裝,帶有用于垂直安裝的引線和螺釘固定的側凸片。FS3000模塊采用8.0mm × 9.1mm × 4.4mm表面貼裝封裝,非常適合用于薄型應用。
基準電壓源,振蕩器和能從32kHz晶體產(chǎn)生12.58MHz時鐘的PLL。主ADC中還有可編增益放大器(PGA),以便直接測量低電平信號。
ADuC847是ADuC845的低成本型號,它沒有第二個ADC和DAC,不能同時進行A/D轉換和經(jīng)由DAC的控制,以便簡化應用。
七月可提供樣品,批量生產(chǎn)生產(chǎn)在2003年十月。有兩種封裝選擇:52引腳PQFP和8x8mm的56引腳CSP。微控制器有三種存儲器選擇:62KB,32KB和8KB閃存。
(素材來源:eccn和ttic.如涉版權請聯(lián)系刪除。特別感謝)
FS1015和FS3000傳感器采用一系列MEMS熱電偶實現(xiàn)高靈敏度空氣流速監(jiān)控。
兩款產(chǎn)品都可以測出最高15米/秒的直流空氣流速,使系統(tǒng)控制能夠快速做出調整,在提供閉環(huán)控制的同時提高效率并降低成本。得益于有源MEMS傳感元件的固體熱隔離以及碳化硅薄膜涂層,這兩款產(chǎn)品都具有出色的耐磨性和長期可靠性。
FS1015采用28.2mm × 14.2mm × 7.3mm封裝,帶有用于垂直安裝的引線和螺釘固定的側凸片。FS3000模塊采用8.0mm × 9.1mm × 4.4mm表面貼裝封裝,非常適合用于薄型應用。
基準電壓源,振蕩器和能從32kHz晶體產(chǎn)生12.58MHz時鐘的PLL。主ADC中還有可編增益放大器(PGA),以便直接測量低電平信號。
ADuC847是ADuC845的低成本型號,它沒有第二個ADC和DAC,不能同時進行A/D轉換和經(jīng)由DAC的控制,以便簡化應用。
七月可提供樣品,批量生產(chǎn)生產(chǎn)在2003年十月。有兩種封裝選擇:52引腳PQFP和8x8mm的56引腳CSP。微控制器有三種存儲器選擇:62KB,32KB和8KB閃存。
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