微電機(jī)系統(tǒng)(mems)使探測器中的傳感元件尺寸縮小，從而降低了成本、提高了精度并提供可媲美半導(dǎo)體的集成度。不幸的是，傳感器所要探測的世界并不因其尺寸縮小而縮小，較小的mems器件更容易被灰塵和其它微粒阻塞�，F(xiàn)在，歐姆龍電子部品(omron electronic components llc)聲稱已為mems氣流傳感器解決了這個(gè)問題，為此采用了該公司稱之為“企鵝”的創(chuàng)新性機(jī)械結(jié)構(gòu)。

　　“我們最新推出的d6f氣流傳感器代號(hào)為企鵝，永遠(yuǎn)不需要過濾器。當(dāng)過濾器被堵塞的時(shí)候，會(huì)干擾流量讀數(shù)，”歐姆龍電子部品的總經(jīng)理yoshio sekiguchi表示，“我們利用旋轉(zhuǎn)氣流產(chǎn)生離心力，解決了這個(gè)問題�！�

　　sekiguchi聲稱，目前全球傳統(tǒng)流量傳感器市場規(guī)模達(dá)10億美元。這些傳感器被用于方方面面，從醫(yī)療呼吸器到消費(fèi)av投影機(jī)。前者用于監(jiān)控病人，后者則用于檢測風(fēng)扇過濾器阻塞。工業(yè)應(yīng)用包括現(xiàn)有的可變氣流(vav)通風(fēng)機(jī)，以及未來在燃料電池中用于探測氣體交換過程。

　　象所有的mems傳感器一樣，該解決方案依賴于如何設(shè)計(jì)器件中的機(jī)械結(jié)構(gòu)。在歐姆龍的d6f氣流傳感器中，機(jī)械結(jié)構(gòu)在芯片外部展開，形成類似波導(dǎo)管的路徑，就象張開翅膀的企鵝，加速氣流使之向下沿著一“翼”，繞過一個(gè)銳角轉(zhuǎn)角，再從另一“翼”流出。簡單地說，歐姆龍利用精心設(shè)計(jì)的氣流路徑，形成旋風(fēng)式氣流，離心力驅(qū)使灰塵等重粒子離開位于中央的通向mems傳感器的路徑，從而可以直接測量氣流，擺脫過濾器的干擾和維護(hù)工作，并防止灰塵影響傳感器計(jì)讀數(shù)。

　　氣流測量本身是利用一個(gè)帶有雙熱電堆的mems傳感器完成的，這兩個(gè)熱電堆在一個(gè)位于中央的發(fā)熱器的兩側(cè)，一邊一個(gè)。在沒有氣流的時(shí)候，兩個(gè)熱電堆測出的空氣溫度相同。但當(dāng)有氣流經(jīng)過熱電堆的時(shí)候，進(jìn)口處氣流的溫度低于出口處的氣流溫度，溫度差與氣流流量成正比。

　　目前，歐姆龍的mems傳感器可用于壓力、慣性(加速計(jì))、氣流、溫度和紅外探測。