瑞士微型數(shù)字傳感器主要生產(chǎn)商——sensirion股份公司推出第三代mems流量傳感器，用于對微流體系統(tǒng)的流量進(jìn)行數(shù)字化測量。

通過使用oem（原始設(shè)備制造商）組件，原有微流體產(chǎn)品范圍得到擴(kuò)大。

新型oem傳感器組件價格優(yōu)惠、結(jié)構(gòu)緊湊，適用于診斷、醫(yī)療和生物技術(shù)領(lǐng)域。

傳感器芯片的集成度高，在降低費(fèi)用、縮小外形和減輕重量方面起積極作用。這種傳感器可以探測介質(zhì)，精確測量低至納升/分鐘的流量，同時具備非常高的反復(fù)精確度。其動作時間在毫秒范圍內(nèi)，可有效檢測并控制微流體系統(tǒng)中的動態(tài)變化。

測量過程中傳感器與介質(zhì)不發(fā)生接觸。傳感器芯片隔著玻璃毛細(xì)管壁進(jìn)行測量（美國專利號6813944），介質(zhì)僅與毛細(xì)管的內(nèi)壁接觸。

最大型號的傳感器可測出3亳升/分鐘以下（含3亳升/分鐘）的流量。在微縮造型結(jié)構(gòu)方面該最新技術(shù)取得了令人驚訝的突破。傳感器重量減輕后只有6克（見圖）。