BANNER傳感器應用舉例—晶圓檢測
發(fā)布時間:2008/5/29 0:00:00 訪問次數(shù):418
http://cnbpq.com
■晶圓檢測
目的：檢測晶圓盒中的晶圓
應用：激光發(fā)射器發(fā)出細小光束，帶0.02水平矩形光縫的接收器能保證光束完全被晶圓擋住。晶圓盒被安裝在一個垂直運動的升降器上，當升降器上下運動時檢測。
傳感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加裝一個0.5mm（0.020）矩形光縫
■300mm晶圓檢測
目的：檢測300mm foup中晶圓的有無
應用：兩個picodot傳感器用來同時檢測同一晶圓的邊沿。如果只有一個傳感器檢測到了邊沿，則認為晶圓錯位，此方位也可用于檢測雙槽晶圓。對于短距離的應用，可選用pd45vn6c50.
傳感器：pd45vn6c200
■檢測晶圓盒
目的：可靠檢測各種顏色的晶圓盒
應用：晶圓盒由不同顏色的材料制成。vs1系列聚焦式傳感器在焦點處具有很高的增益，使其不受晶圓盒顏色和材料的影響。
傳感器：vs1an5c10
■檢測晶圓是否探出
目的：檢測是否有凸出于晶圓盒的晶圓
應用：向外凸出的晶圓容易被折斷或損壞，這會減少產(chǎn)量并能導致停工。md14bb6放大器配合sp8er1遠程傳感器，可提供一個非常�。�1.5mm）的有效光束，對射式最大的檢測距離為300mm（12”）。
傳感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圓盒儲存設(shè)備人身保護
目的：在半導體晶圓盒儲存設(shè)備的機械手操作點進行人身保護
應用：設(shè)備中有一個活動的機械手，當有人遮擋光幕時，機械手將停止動作。
傳感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圓盒的檢測
目的：檢測清洗槽中晶圓盒的有無
應用：teflon外殼的光纖安裝在清洗槽中對稱的兩側(cè)。teflon包裹的光纖頭不僅耐腐蝕而且在密封的液體容器中有很小的摩擦力。光纖還包含一個鏡頭以增大檢測范圍和有效光束。當清洗盒到位時，光束被阻斷。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pie46ut
■晶圓中心的檢測
目的：確定機械臂上晶圓的中心
應用：三個檢測點用來檢測機械臂上晶圓的中心。其中任何一條光束被阻斷，系統(tǒng)控制器都會檢測到。機械臂的編碼器信息也輸入到控制器，控制器分析傳感器的輸出以確定晶圓的位置。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pit46uht1
■檢測晶圓的凸出/原點位置的確認
目的：確認兩個狀態(tài);是否有突出的晶圓，機械臂的原點位置
應用：在移動門關(guān)上之前，對射式的m12發(fā)射器和ez-beam接收器用來檢測是否有晶圓凸出于晶圓盒;picodot系列傳感器，具有精密的聚焦點用來檢測晶圓的邊緣，以確定機械臂的原點位置。
傳感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126發(fā)射器
■真空環(huán)境中晶圓的檢測
目的：檢測真空環(huán)境中機械臂上是否有晶圓
應用：在晶圓的傳送過程中，機械臂上必須保證有晶圓。但是從外部無法檢測晶圓是否存在。vft-m8mvs可以連接真空室外部提供的一束光信號（在這種應用場合要使用兩個）。特殊型號光纖imt753smvf（須成對使用）沒有使用環(huán)氧材料或塑料，因為這種材料會對真空室產(chǎn)生污染。在真空室外部，塑料光纖pif66umvfa將光信號傳送到放大器d12sn6fp.
傳感器：d12sn6fp
光纖：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
目的：檢測晶圓盒中的晶圓
應用：激光發(fā)射器發(fā)出細小光束，帶0.02水平矩形光縫的接收器能保證光束完全被晶圓擋住。晶圓盒被安裝在一個垂直運動的升降器上，當升降器上下運動時檢測。
傳感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加裝一個0.5mm（0.020）矩形光縫
■300mm晶圓檢測
目的：檢測300mm foup中晶圓的有無
應用：兩個picodot傳感器用來同時檢測同一晶圓的邊沿。如果只有一個傳感器檢測到了邊沿，則認為晶圓錯位，此方位也可用于檢測雙槽晶圓。對于短距離的應用，可選用pd45vn6c50.
傳感器：pd45vn6c200
■檢測晶圓盒
目的：可靠檢測各種顏色的晶圓盒
應用：晶圓盒由不同顏色的材料制成。vs1系列聚焦式傳感器在焦點處具有很高的增益，使其不受晶圓盒顏色和材料的影響。
傳感器：vs1an5c10
■檢測晶圓是否探出
目的：檢測是否有凸出于晶圓盒的晶圓
應用：向外凸出的晶圓容易被折斷或損壞，這會減少產(chǎn)量并能導致停工。md14bb6放大器配合sp8er1遠程傳感器，可提供一個非常�。�1.5mm）的有效光束，對射式最大的檢測距離為300mm（12”）。
傳感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圓盒儲存設(shè)備人身保護
目的：在半導體晶圓盒儲存設(shè)備的機械手操作點進行人身保護
應用：設(shè)備中有一個活動的機械手，當有人遮擋光幕時，機械手將停止動作。
傳感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圓盒的檢測
目的：檢測清洗槽中晶圓盒的有無
應用：teflon外殼的光纖安裝在清洗槽中對稱的兩側(cè)。teflon包裹的光纖頭不僅耐腐蝕而且在密封的液體容器中有很小的摩擦力。光纖還包含一個鏡頭以增大檢測范圍和有效光束。當清洗盒到位時，光束被阻斷。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pie46ut
■晶圓中心的檢測
目的：確定機械臂上晶圓的中心
應用：三個檢測點用來檢測機械臂上晶圓的中心。其中任何一條光束被阻斷，系統(tǒng)控制器都會檢測到。機械臂的編碼器信息也輸入到控制器，控制器分析傳感器的輸出以確定晶圓的位置。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pit46uht1
■檢測晶圓的凸出/原點位置的確認
目的：確認兩個狀態(tài);是否有突出的晶圓，機械臂的原點位置
應用：在移動門關(guān)上之前，對射式的m12發(fā)射器和ez-beam接收器用來檢測是否有晶圓凸出于晶圓盒;picodot系列傳感器，具有精密的聚焦點用來檢測晶圓的邊緣，以確定機械臂的原點位置。
傳感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126發(fā)射器
■真空環(huán)境中晶圓的檢測
目的：檢測真空環(huán)境中機械臂上是否有晶圓
應用：在晶圓的傳送過程中，機械臂上必須保證有晶圓。但是從外部無法檢測晶圓是否存在。vft-m8mvs可以連接真空室外部提供的一束光信號（在這種應用場合要使用兩個）。特殊型號光纖imt753smvf（須成對使用）沒有使用環(huán)氧材料或塑料，因為這種材料會對真空室產(chǎn)生污染。在真空室外部，塑料光纖pif66umvfa將光信號傳送到放大器d12sn6fp.
傳感器：d12sn6fp
光纖：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
http://cnbpq.com
■晶圓檢測
目的：檢測晶圓盒中的晶圓
應用：激光發(fā)射器發(fā)出細小光束，帶0.02水平矩形光縫的接收器能保證光束完全被晶圓擋住。晶圓盒被安裝在一個垂直運動的升降器上，當升降器上下運動時檢測。
傳感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加裝一個0.5mm（0.020）矩形光縫
■300mm晶圓檢測
目的：檢測300mm foup中晶圓的有無
應用：兩個picodot傳感器用來同時檢測同一晶圓的邊沿。如果只有一個傳感器檢測到了邊沿，則認為晶圓錯位，此方位也可用于檢測雙槽晶圓。對于短距離的應用，可選用pd45vn6c50.
傳感器：pd45vn6c200
■檢測晶圓盒
目的：可靠檢測各種顏色的晶圓盒
應用：晶圓盒由不同顏色的材料制成。vs1系列聚焦式傳感器在焦點處具有很高的增益，使其不受晶圓盒顏色和材料的影響。
傳感器：vs1an5c10
■檢測晶圓是否探出
目的：檢測是否有凸出于晶圓盒的晶圓
應用：向外凸出的晶圓容易被折斷或損壞，這會減少產(chǎn)量并能導致停工。md14bb6放大器配合sp8er1遠程傳感器，可提供一個非常�。�1.5mm）的有效光束，對射式最大的檢測距離為300mm（12”）。
傳感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圓盒儲存設(shè)備人身保護
目的：在半導體晶圓盒儲存設(shè)備的機械手操作點進行人身保護
應用：設(shè)備中有一個活動的機械手，當有人遮擋光幕時，機械手將停止動作。
傳感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圓盒的檢測
目的：檢測清洗槽中晶圓盒的有無
應用：teflon外殼的光纖安裝在清洗槽中對稱的兩側(cè)。teflon包裹的光纖頭不僅耐腐蝕而且在密封的液體容器中有很小的摩擦力。光纖還包含一個鏡頭以增大檢測范圍和有效光束。當清洗盒到位時，光束被阻斷。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pie46ut
■晶圓中心的檢測
目的：確定機械臂上晶圓的中心
應用：三個檢測點用來檢測機械臂上晶圓的中心。其中任何一條光束被阻斷，系統(tǒng)控制器都會檢測到。機械臂的編碼器信息也輸入到控制器，控制器分析傳感器的輸出以確定晶圓的位置。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pit46uht1
■檢測晶圓的凸出/原點位置的確認
目的：確認兩個狀態(tài);是否有突出的晶圓，機械臂的原點位置
應用：在移動門關(guān)上之前，對射式的m12發(fā)射器和ez-beam接收器用來檢測是否有晶圓凸出于晶圓盒;picodot系列傳感器，具有精密的聚焦點用來檢測晶圓的邊緣，以確定機械臂的原點位置。
傳感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126發(fā)射器
■真空環(huán)境中晶圓的檢測
目的：檢測真空環(huán)境中機械臂上是否有晶圓
應用：在晶圓的傳送過程中，機械臂上必須保證有晶圓。但是從外部無法檢測晶圓是否存在。vft-m8mvs可以連接真空室外部提供的一束光信號（在這種應用場合要使用兩個）。特殊型號光纖imt753smvf（須成對使用）沒有使用環(huán)氧材料或塑料，因為這種材料會對真空室產(chǎn)生污染。在真空室外部，塑料光纖pif66umvfa將光信號傳送到放大器d12sn6fp.
傳感器：d12sn6fp
光纖：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
目的：檢測晶圓盒中的晶圓
應用：激光發(fā)射器發(fā)出細小光束，帶0.02水平矩形光縫的接收器能保證光束完全被晶圓擋住。晶圓盒被安裝在一個垂直運動的升降器上，當升降器上下運動時檢測。
傳感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加裝一個0.5mm（0.020）矩形光縫
■300mm晶圓檢測
目的：檢測300mm foup中晶圓的有無
應用：兩個picodot傳感器用來同時檢測同一晶圓的邊沿。如果只有一個傳感器檢測到了邊沿，則認為晶圓錯位，此方位也可用于檢測雙槽晶圓。對于短距離的應用，可選用pd45vn6c50.
傳感器：pd45vn6c200
■檢測晶圓盒
目的：可靠檢測各種顏色的晶圓盒
應用：晶圓盒由不同顏色的材料制成。vs1系列聚焦式傳感器在焦點處具有很高的增益，使其不受晶圓盒顏色和材料的影響。
傳感器：vs1an5c10
■檢測晶圓是否探出
目的：檢測是否有凸出于晶圓盒的晶圓
應用：向外凸出的晶圓容易被折斷或損壞，這會減少產(chǎn)量并能導致停工。md14bb6放大器配合sp8er1遠程傳感器，可提供一個非常�。�1.5mm）的有效光束，對射式最大的檢測距離為300mm（12”）。
傳感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圓盒儲存設(shè)備人身保護
目的：在半導體晶圓盒儲存設(shè)備的機械手操作點進行人身保護
應用：設(shè)備中有一個活動的機械手，當有人遮擋光幕時，機械手將停止動作。
傳感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圓盒的檢測
目的：檢測清洗槽中晶圓盒的有無
應用：teflon外殼的光纖安裝在清洗槽中對稱的兩側(cè)。teflon包裹的光纖頭不僅耐腐蝕而且在密封的液體容器中有很小的摩擦力。光纖還包含一個鏡頭以增大檢測范圍和有效光束。當清洗盒到位時，光束被阻斷。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pie46ut
■晶圓中心的檢測
目的：確定機械臂上晶圓的中心
應用：三個檢測點用來檢測機械臂上晶圓的中心。其中任何一條光束被阻斷，系統(tǒng)控制器都會檢測到。機械臂的編碼器信息也輸入到控制器，控制器分析傳感器的輸出以確定晶圓的位置。
傳感器：d12sn6fp
光纖：pit46uht1
■檢測晶圓的凸出/原點位置的確認
目的：確認兩個狀態(tài);是否有突出的晶圓，機械臂的原點位置
應用：在移動門關(guān)上之前，對射式的m12發(fā)射器和ez-beam接收器用來檢測是否有晶圓凸出于晶圓盒;picodot系列傳感器，具有精密的聚焦點用來檢測晶圓的邊緣，以確定機械臂的原點位置。
傳感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126發(fā)射器
■真空環(huán)境中晶圓的檢測
目的：檢測真空環(huán)境中機械臂上是否有晶圓
應用：在晶圓的傳送過程中，機械臂上必須保證有晶圓。但是從外部無法檢測晶圓是否存在。vft-m8mvs可以連接真空室外部提供的一束光信號（在這種應用場合要使用兩個）。特殊型號光纖imt753smvf（須成對使用）沒有使用環(huán)氧材料或塑料，因為這種材料會對真空室產(chǎn)生污染。在真空室外部，塑料光纖pif66umvfa將光信號傳送到放大器d12sn6fp.
傳感器：d12sn6fp
光纖：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
相關(guān)技術(shù)資料- 8-12高頻、高效音頻功放IC模塊技術(shù)工藝封裝
- 8-128英寸180納米GaN固態(tài)變壓器（SST）
- 8-12新一代光纖通信光收發(fā)器接收器芯片
- 8-12第三代半導體SiC（碳化硅）和 GaN（氮化鎵）
- 8-12全球半導體產(chǎn)業(yè)終端市場需求及技術(shù)應用前景
- 8-12GaN與SiC材料單片集成技術(shù)發(fā)展趨勢探究
- 8-11iNEMO系統(tǒng)級封裝 (SiP) 6軸單片式解決方案
- 8-11增強型模塊化輸入輸出系統(tǒng) (eMIOS)
- 8-11最新60和100V器件FERD30H100S
- 8-1132位汽車微控制器SPC5系列設(shè)計應用
- 8-11新一代高性能接近和測距傳感器
- 8-11新型場效應整流二極管（FERD）技術(shù)封裝
- 相關(guān)IC型號
公網(wǎng)安備44030402000607
