BANNER傳感器應(yīng)用舉例—晶片處理
發(fā)布時(shí)間:2008/5/29 0:00:00 訪問次數(shù):378
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| ■晶片盒檢測(cè) 應(yīng)用：檢測(cè)浸沒在去離子溶液中傳送帶上的晶片盒的到位 傳感器型號(hào)：d12sn6fp配用對(duì)射式塑料光纖pie46ut 應(yīng)用舉例說明：硅晶片在進(jìn)行下一道工序前需裝于晶片盒中通過浸潤(rùn)在去離子溶液中的傳送帶進(jìn)行運(yùn)輸。鈦氟瓏外殼的塑料光纖安裝于傳送帶兩側(cè)，光纖檢測(cè)頭可完全浸潤(rùn)在溶液中，晶片盒遮擋光纖光束后，傳感器輸出導(dǎo)通。 ■晶片定位 應(yīng)用：對(duì)半導(dǎo)體晶片“平端”進(jìn)行定位 傳感器型號(hào)：兩支d12sn6fpy傳感器及對(duì)射式塑料光纖pif26u 應(yīng)用舉例說明：半導(dǎo)體晶片在定位夾具中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，當(dāng)兩束對(duì)射式光纖通路時(shí)，即檢測(cè)到晶片“平端”，旋轉(zhuǎn)停止，d12高速響應(yīng)時(shí)間（50微秒）保證了停止位置的重復(fù)精度。 ■晶片盒中晶片定位 應(yīng)用：檢測(cè)晶片邊緣進(jìn)行定位 傳感器型號(hào)：picodot系列pd45vn6c100 應(yīng)用舉例說明：picodot系列pd45vn6c100焦距為100mm，焦點(diǎn)直徑很小，檢測(cè)極小截面的晶片邊緣，檢測(cè)距離應(yīng)為50mm，此位置光斑稍大，同時(shí)具有更高的過量增益。 |
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