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米銥改進(jìn)型ILD1800激光傳感器用于雙面覆銅板在線測(cè)厚

發(fā)布時(shí)間:2008/5/29 0:00:00 訪問次數(shù):551

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雙面覆銅板在線測(cè)厚,考慮到在線傳送時(shí)覆銅板上下竄動(dòng)帶來(lái)的測(cè)量誤差,應(yīng)在測(cè)厚點(diǎn)上下安裝兩個(gè)傳感器。如下示意圖


  
  雙面覆銅板測(cè)厚早期用電容式傳感器。它的優(yōu)點(diǎn)是表面色斑,表面微觀溝槽不影響測(cè)量結(jié)果,其缺點(diǎn)是傳感器頭與被測(cè)面間隙很小,且受間隙中介質(zhì)變化而影響精度。對(duì)安裝調(diào)校的環(huán)境要求很高,使用受到限制。而最致命的缺點(diǎn)是電容式傳感器是面積效應(yīng),它測(cè)的是大于面積5㎜處的平均厚度。這對(duì)精密到某一點(diǎn)的板厚測(cè)量是很大的缺陷。
  
  于是激光位移傳感器受到重視,因?yàn)閭鞲衅靼惭b距離遠(yuǎn),環(huán)境要求并不高,而且基本上是一個(gè)點(diǎn)的測(cè)厚。適于精密到某一點(diǎn)的板厚測(cè)量。問題是,一般慢反射激光傳感器對(duì)表面色斑的敏感,以及幾十個(gè)微米直徑的光斑對(duì)表面微觀溝槽敏感使板厚測(cè)量困難重重。
  德國(guó)米銥針對(duì)上述問題,對(duì)ild1800激光傳感器進(jìn)行實(shí)質(zhì)性的創(chuàng)性。其中用同期補(bǔ)光核心技術(shù)使色斑敏感降為零,以及改進(jìn)透視鏡使光斑直徑增大到300微米,抑制了微觀表面溝槽影響。加上原ild1800可同步掃描功能,使同一測(cè)量上下兩個(gè)傳感器能同步掃描,完全避免覆銅板在線傳送時(shí)上下竄動(dòng)帶來(lái)的測(cè)量誤差,以及保證兩個(gè)傳感器同步測(cè)量覆銅板同一個(gè)點(diǎn)的厚度。
  
  以下是臺(tái)灣景揚(yáng)公司應(yīng)用德國(guó)米銥測(cè)試技術(shù)公司改進(jìn)型ild1800-2(100)激光傳感器成功案例:
  pcb板厚儀技術(shù)指標(biāo):


  
  下圖表是800個(gè)測(cè)點(diǎn)數(shù)據(jù)最大厚度誤差0.9微米記錄


  
  pcb板厚儀外觀圖




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雙面覆銅板在線測(cè)厚,考慮到在線傳送時(shí)覆銅板上下竄動(dòng)帶來(lái)的測(cè)量誤差,應(yīng)在測(cè)厚點(diǎn)上下安裝兩個(gè)傳感器。如下示意圖


  
  雙面覆銅板測(cè)厚早期用電容式傳感器。它的優(yōu)點(diǎn)是表面色斑,表面微觀溝槽不影響測(cè)量結(jié)果,其缺點(diǎn)是傳感器頭與被測(cè)面間隙很小,且受間隙中介質(zhì)變化而影響精度。對(duì)安裝調(diào)校的環(huán)境要求很高,使用受到限制。而最致命的缺點(diǎn)是電容式傳感器是面積效應(yīng),它測(cè)的是大于面積5㎜處的平均厚度。這對(duì)精密到某一點(diǎn)的板厚測(cè)量是很大的缺陷。
  
  于是激光位移傳感器受到重視,因?yàn)閭鞲衅靼惭b距離遠(yuǎn),環(huán)境要求并不高,而且基本上是一個(gè)點(diǎn)的測(cè)厚。適于精密到某一點(diǎn)的板厚測(cè)量。問題是,一般慢反射激光傳感器對(duì)表面色斑的敏感,以及幾十個(gè)微米直徑的光斑對(duì)表面微觀溝槽敏感使板厚測(cè)量困難重重。
  德國(guó)米銥針對(duì)上述問題,對(duì)ild1800激光傳感器進(jìn)行實(shí)質(zhì)性的創(chuàng)性。其中用同期補(bǔ)光核心技術(shù)使色斑敏感降為零,以及改進(jìn)透視鏡使光斑直徑增大到300微米,抑制了微觀表面溝槽影響。加上原ild1800可同步掃描功能,使同一測(cè)量上下兩個(gè)傳感器能同步掃描,完全避免覆銅板在線傳送時(shí)上下竄動(dòng)帶來(lái)的測(cè)量誤差,以及保證兩個(gè)傳感器同步測(cè)量覆銅板同一個(gè)點(diǎn)的厚度。
  
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  下圖表是800個(gè)測(cè)點(diǎn)數(shù)據(jù)最大厚度誤差0.9微米記錄


  
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