基于MEMS技術(shù)的微型傳感器
發(fā)布時間:2008/5/29 0:00:00 訪問次數(shù):352
摘要：和傳統(tǒng)的傳感器相比,微型傳感器具有許多新特性,它們能夠彌補傳統(tǒng)傳感器的不足,具有廣泛的應(yīng)用前景,越來越受到重視。文中詳細介紹了一些微型傳感器件的結(jié)構(gòu)和原理,說明了微型傳感器的基本性能特點和微型傳感器的發(fā)展趨勢。
關(guān)鍵詞：mems 技術(shù)；微型傳感器；智能化；多功能化
微型傳感器的特點 摘要：和傳統(tǒng)的傳感器相比,微型傳感器具有許多新特性,它們能夠彌補傳統(tǒng)傳感器的不足,具有廣泛的應(yīng)用前景,越來越受到重視。文中詳細介紹了一些微型傳感器件的結(jié)構(gòu)和原理,說明了微型傳感器的基本性能特點和微型傳感器的發(fā)展趨勢。 關(guān)鍵詞：mems 技術(shù)；微型傳感器；智能化；多功能化 微型傳感器的特點
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