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用碳納米管制造的功率晶體管

發(fā)布時(shí)間:2007/8/15 0:00:00 訪問次數(shù):429

英飛凌科技公司的研究表明,用碳納米管制造的功率晶體管其典型開關(guān)電阻只有常規(guī)晶體管的二十分之一。這就相應(yīng)降低功率損耗。研究還發(fā)現(xiàn),碳基晶體管能夠承受的電流密度大約是硅基晶體管的 200 倍。

納米技術(shù)領(lǐng)域的幾項(xiàng)新進(jìn)展均被融合到了這種納米管功率晶體管的生產(chǎn)中。其中,英飛凌公司的研究人員能夠在600°C 的“低溫”下生長出高質(zhì)量的單壁碳納米管,而此前則需要大約 900 °C的溫度。

英飛凌公司用鈀來制造帶有漏極觸點(diǎn)、源極觸點(diǎn)和柵極觸點(diǎn)的整個(gè)晶體管。硅被用作襯底,盡管任何傳導(dǎo)材料都滿足要求。然后,研究人員在高-k二氧化鋁柵極介質(zhì)上生長出碳納米管。碳納米管在相對簡單的工藝中隨機(jī)分布,不過平行排列的碳納米管數(shù)量足以用作漏極和源極之間的連線。

英飛凌科技公司的研究表明,用碳納米管制造的功率晶體管其典型開關(guān)電阻只有常規(guī)晶體管的二十分之一。這就相應(yīng)降低功率損耗。研究還發(fā)現(xiàn),碳基晶體管能夠承受的電流密度大約是硅基晶體管的 200 倍。

納米技術(shù)領(lǐng)域的幾項(xiàng)新進(jìn)展均被融合到了這種納米管功率晶體管的生產(chǎn)中。其中,英飛凌公司的研究人員能夠在600°C 的“低溫”下生長出高質(zhì)量的單壁碳納米管,而此前則需要大約 900 °C的溫度。

英飛凌公司用鈀來制造帶有漏極觸點(diǎn)、源極觸點(diǎn)和柵極觸點(diǎn)的整個(gè)晶體管。硅被用作襯底,盡管任何傳導(dǎo)材料都滿足要求。然后,研究人員在高-k二氧化鋁柵極介質(zhì)上生長出碳納米管。碳納米管在相對簡單的工藝中隨機(jī)分布,不過平行排列的碳納米管數(shù)量足以用作漏極和源極之間的連線。

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