酸性蝕刻的基礎知識
發(fā)布時間:2008/9/2 0:00:00 訪問次數:413
酸性蝕刻液的主要成份:cucl2.2h2o, hcl,nacl,nh4cl,h2o
酸性氯化銅蝕刻過程的主要化學反應在蝕刻過程中,氯銅中的cu2+具有氧化性,能將板氧
化成cu1+ ,其反應如下:
蝕刻反應:cu+cucl2->cu2cl2
形成的cu2cl2是不易溶于水的在有過量的cl-存在下,能形成可溶性的絡合離子,其反應如下:
絡合反應: cu2cl2 +4cl- ->2[cucl3]2-
隨著銅的蝕刻,溶液中的cl1+越來越多,蝕刻能力很快就會下降,直到最后失去效能。為保持蝕刻能力,可以過溶液再生的方式將cu1+重新??成cu2+.保??刻能力.
蝕刻液的再生:
再生的原理主要是利用氧化劑將溶液中的cu1+ 氧化成cu2+。
再生方法一般有以下幾種。
1) 通氧氣或壓縮空氣再生:主要的再生反應為:2cu2cl2+4hcl+o2 ->4cucl2+2h2o
但此方法再生反應速率很低。
2)氯氣再生:主要的再生反應為:cu2cl2+cl2 ->2cucl2由于氯氣是強氧化劑,直接通
氯氣是再生的最好方法。因為它的成本低,再生速率快。但是,很難做到使氯氣全部都參
加反應,如有氯氣溢出,會污染環(huán)境。故該法要求蝕刻設備密封。
3)電解再生:主要的再生反應為:在直流電的作用下,在陽極:cu1+ ->cu2+ +e
在陰極:cu1+ +e->cu0這種方法的優(yōu)點是可以直接回收多余的銅,同時又使cu1+氧
化成cu2+,使蝕刻液得到再生。但是此方法的再生設備投入較大且
要消耗較多的電能。
htyue2905網友補充:
現(xiàn)在的酸性蝕刻有兩種:雙氧水系統(tǒng)和 氯酸鈉系統(tǒng),二者的區(qū)別在于是由那種物質充當氧化劑。
前者是氧,后者是氯。所以在控制上有一定區(qū)別。
酸性蝕刻液的主要成份:cucl2.2h2o, hcl,nacl,nh4cl,h2o
酸性氯化銅蝕刻過程的主要化學反應在蝕刻過程中,氯銅中的cu2+具有氧化性,能將板氧
化成cu1+ ,其反應如下:
蝕刻反應:cu+cucl2->cu2cl2
形成的cu2cl2是不易溶于水的在有過量的cl-存在下,能形成可溶性的絡合離子,其反應如下:
絡合反應: cu2cl2 +4cl- ->2[cucl3]2-
隨著銅的蝕刻,溶液中的cl1+越來越多,蝕刻能力很快就會下降,直到最后失去效能。為保持蝕刻能力,可以過溶液再生的方式將cu1+重新??成cu2+.保??刻能力.
蝕刻液的再生:
再生的原理主要是利用氧化劑將溶液中的cu1+ 氧化成cu2+。
再生方法一般有以下幾種。
1) 通氧氣或壓縮空氣再生:主要的再生反應為:2cu2cl2+4hcl+o2 ->4cucl2+2h2o
但此方法再生反應速率很低。
2)氯氣再生:主要的再生反應為:cu2cl2+cl2 ->2cucl2由于氯氣是強氧化劑,直接通
氯氣是再生的最好方法。因為它的成本低,再生速率快。但是,很難做到使氯氣全部都參
加反應,如有氯氣溢出,會污染環(huán)境。故該法要求蝕刻設備密封。
3)電解再生:主要的再生反應為:在直流電的作用下,在陽極:cu1+ ->cu2+ +e
在陰極:cu1+ +e->cu0這種方法的優(yōu)點是可以直接回收多余的銅,同時又使cu1+氧
化成cu2+,使蝕刻液得到再生。但是此方法的再生設備投入較大且
要消耗較多的電能。
htyue2905網友補充:
現(xiàn)在的酸性蝕刻有兩種:雙氧水系統(tǒng)和 氯酸鈉系統(tǒng),二者的區(qū)別在于是由那種物質充當氧化劑。
前者是氧,后者是氯。所以在控制上有一定區(qū)別。
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