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納米電子材料

發(fā)布時(shí)間:2011/8/24 10:08:45 訪問(wèn)次數(shù):2988

    1.碳納米管
    1)碳納米管的特性與分類
    碳納米管(carbon nanotube),又名巴基管,是碳家族中第5種同素異形體,由自然界最強(qiáng)的C-C共價(jià)鍵結(jié)合而成。碳納米管是一種具有特殊結(jié)構(gòu)(徑向尺寸為納米量級(jí),軸向尺寸為微米量級(jí),管子兩端基本上都封口)的一維量子材料。它主要由呈六邊形排列的
碳原子構(gòu)成數(shù)層到數(shù)十層的同軸圓管(見(jiàn)圖4.2.10)。

                                  

    按照石墨烯片的層數(shù),可分為單壁碳納米管和多壁碳納米管(見(jiàn)圖4.2.11),無(wú)論是多壁管還是單壁管都具有很高的長(zhǎng)徑比,一般為100~1000,最高可達(dá)1000~10000,完全可以認(rèn)為是一維材料.

              
 
    2)碳納米管的物理性質(zhì)
    ①高強(qiáng)度、低密度(強(qiáng)皮為鋼的100倍以上,密度為鋼的1/6以下);
    ②高彈性;
    ③優(yōu)良的導(dǎo)體和半導(dǎo)體特性(量子限域所致);
    ④高的比表面積;
    ⑤強(qiáng)的吸附性能;
    ⑥優(yōu)良的光學(xué)特性;
    ⑦發(fā)光強(qiáng)度隨發(fā)射電流的增大而增強(qiáng)。
     3)碳納米管在電子材料中的應(yīng)用
    (1)納米電子器件。碳納米管的電子結(jié)構(gòu)可以是金屬性質(zhì),也可以是半導(dǎo)體性質(zhì),取決于其直徑和螺旋度。因此不同直徑和螺旋度的碳納米管可以作為功能電子器件、微型電路的導(dǎo)線、最小的半導(dǎo)體裝置、納米級(jí)的晶體三極管、邏輯門和線路的連接件,應(yīng)用于微
電子器件。
    (2)高性能傳感器。碳納米管特殊的力學(xué)、電子、熱學(xué)性能,可以用于制作高靈敏度、高性能傳感器。例如,碳納米管在吸附某些氣體如H2、NH3、O2和無(wú)機(jī)氣體后電阻發(fā)生迅速的突變,可以作為電化學(xué)傳感器,用作靈敏的環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì),監(jiān)測(cè)有毒氣體含量的微弱變化和控制環(huán)境污染。
    (3)作為電極材料,用于高性能電容器、鋰離子電池等領(lǐng)域。
    (4)電子產(chǎn)品結(jié)構(gòu)材料。由于碳納米管可制造高強(qiáng)度碳纖維材料,強(qiáng)度比鋼高100倍,但重量只有鋼的六分之一,并且具有高比模量、耐高溫、熱膨脹系數(shù)小和抵抗熱變性能強(qiáng)等一系列優(yōu)異性能,因此用作產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)材料。例如,用來(lái)制作筆記本電腦外殼,不僅
可以提高結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,而且可以使產(chǎn)品微小型化和輕型化。

    2.寬禁芾化合物半導(dǎo)體納米材料
    寬禁。帶半導(dǎo)體材料能在可見(jiàn)光波段實(shí)現(xiàn)高效率的光電轉(zhuǎn)換,具有很好的應(yīng)用前景,而化合物半導(dǎo)體納米材料就是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料。目前進(jìn)入實(shí)際應(yīng)用的寬禁帶化合物半導(dǎo)體納米材料有氧化鋅和氮化鎵。
    1)氧化鋅納米材料
    Zn0作為一種壓電、壓敏和氣敏材料,很早便在電子敏感器件中應(yīng)用。但納米Zn0展現(xiàn)出新的特殊性能,使其在激光領(lǐng)域嶄露頭角
。利用納米Zn0可以實(shí)現(xiàn)短波光發(fā)射和紫外激光發(fā)射,并且容易改變光譜發(fā)射結(jié)構(gòu)并增強(qiáng)可見(jiàn)光(2個(gè)量級(jí))和紫外(1個(gè)量級(jí))光的發(fā)射強(qiáng)度;利用納米Zn()的自組裝行為得到Zn0納米線陣列激光器件;制造遠(yuǎn)紅外線反射纖維的材料等。
    2)氮化鎵納米材料
    GaN寬禁帶化合物半導(dǎo)體納米材料在信息存儲(chǔ)、顯示、打印等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。利用GaN材料體系,可以制備藍(lán)藍(lán)紫、紫
外光IEDs以及高頻、大功率電子器件以及紫外(UV)光探測(cè)器。此外,GaN基白光LED通過(guò)多種技術(shù)改進(jìn)可以提高發(fā)光效率,并且可以利用具備自聚焦透鏡作用的結(jié)構(gòu)制造大功率高亮度LED芯片,是下一代固態(tài)照明光源的基石。

    3.半導(dǎo)體超晶格材料
    半導(dǎo)體超晶格材料是一種人造的納米級(jí)的特殊半導(dǎo)體材料,由于其獨(dú)特的性能可能咸為未來(lái)半導(dǎo)體主流技術(shù)而受到廣泛關(guān)注。
    傳統(tǒng)半導(dǎo)體技術(shù)使用的是天然的晶態(tài)半導(dǎo)體材料,隨著半導(dǎo)體科技的發(fā)展,天然半導(dǎo)體材料的潛力已經(jīng)接近枯竭,已經(jīng)不能滿足
電子信息技術(shù)的發(fā)展需求,人們開(kāi)始嘗試“按需人造”,半導(dǎo)體超晶格材料應(yīng)運(yùn)而生。
    在嚴(yán)格的技術(shù)條件下,采用各種技術(shù)措施,例如分子束外延( MBE)、化學(xué)氣相淀積(CVD)、液相外延(LPE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)、化學(xué)束外延(CBE)等方法,在晶體襯底上一層疊一層地生長(zhǎng)出不同材料的納米級(jí)薄膜來(lái),每層只有幾個(gè)原子層,這樣生長(zhǎng)出來(lái)的材料叫超晶格材料。在超晶格材料中,薄膜層載流子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)由三維向二維、一維甚至零維轉(zhuǎn)變,使其具有原來(lái)天然半導(dǎo)體材料不具備的、十分獨(dú)特的性能。有人把這種天然到人造的轉(zhuǎn)化,形象地用“摻雜工程”到“能帶工程”轉(zhuǎn)換來(lái)概括其本質(zhì)。超品格材料的出現(xiàn)將進(jìn)一步促進(jìn)半導(dǎo)體器件的發(fā)展,從而開(kāi)辟半導(dǎo)體發(fā)展的新天地。
    分子束外延技術(shù)是制備半導(dǎo)體超晶格材料的主要技術(shù),圖4.2.12所示為MBE的結(jié)構(gòu)。隨著技術(shù)的發(fā)展,現(xiàn)在人們已經(jīng)可以利用MBE,制備材料組成的異質(zhì)結(jié)和超品格。GaAs/AIGaAs材料體系、GaAs襯底上和InP襯底上的InGaAs/AIGaAs材料體系以及SiGe/Si異質(zhì)結(jié)超品格是近年開(kāi)發(fā)出的幾種重要的半導(dǎo)體超晶格,其中有的已經(jīng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。 

                            
    4.硅基半導(dǎo)體納米材料
    硅基半導(dǎo)體材料的尺寸達(dá)到納米級(jí)(納米硅晶、納米硅線,約為6nm)時(shí),在靠近可見(jiàn)光波段就會(huì)有較強(qiáng)的發(fā)光現(xiàn)象。同時(shí),硅基納米結(jié)構(gòu)如Si02納米線和多孔硅的發(fā)光現(xiàn)象,表明硅和硅基半導(dǎo)體納米材料在電子和光電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用前景。
    1)硅和二氧化硅納米線
    基于量子限域效應(yīng),Si納米線(SiNWs)、Si納米管(SiNTs)以及其他Si納米結(jié)構(gòu)具有特異的電學(xué)、光學(xué)、機(jī)械和化學(xué)性質(zhì),可制成一維量子線、高速場(chǎng)發(fā)射晶體管和小型微波發(fā)射器等功能元件。
    硅納米線的量子限域效應(yīng)與材料的低維度相關(guān),襯底上生長(zhǎng)的Si納米線有很高的表面/體積比。SiNWs具有很多潛在的應(yīng)用前景,如制造高容量、小尺寸可充電電池以及用SiNWs作鋰電池的電極材料,其容量比傳統(tǒng)的高8倍。
    2)多孔硅
    近年,多孔硅在微電子及光電子學(xué)等領(lǐng)域,如在發(fā)光器件、大屏幕顯示等方面有較多應(yīng)用。更重要的是,多孔硅可能為以硅為基底的光電子學(xué)的發(fā)展開(kāi)啟新路,將多孔硅發(fā)光性能與已經(jīng)高度發(fā)展的集成電路技術(shù)結(jié)合起來(lái),具有巨大的應(yīng)用前景,使多孔硅成為納米電子材料中引人注目的熱點(diǎn)。
    多孔硅是一種具有非晶體特性的特殊材料。采用一定技術(shù)制造的多孔硅,硅層中形成許多孤立的孑L洞,當(dāng)孔度達(dá)到80%時(shí),相鄰的孔將連通,而留下一些孤立的晶柱或晶絲,稱為量子線,如圖4.2.13(a)所示,而且量子線的結(jié)構(gòu)是有序的;圖4.2.13 (b)是多孔硅的結(jié)構(gòu),呈現(xiàn)為無(wú)規(guī)則的珊瑚狀,其中包含了一些絲狀物,這就是量子線。

                            

     多孔硅能發(fā)射很強(qiáng)的可見(jiàn)光,波長(zhǎng)可以從紅、橙、黃直到綠色,且波長(zhǎng)與多孔硅孔度有關(guān)。其發(fā)光機(jī)理有多種模型,如量子尺寸效應(yīng)、非晶發(fā)光以及表面相關(guān)等,迄今仍處于探索階段。    L5026X1082  


 

 

 

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    1.碳納米管
    1)碳納米管的特性與分類
    碳納米管(carbon nanotube),又名巴基管,是碳家族中第5種同素異形體,由自然界最強(qiáng)的C-C共價(jià)鍵結(jié)合而成。碳納米管是一種具有特殊結(jié)構(gòu)(徑向尺寸為納米量級(jí),軸向尺寸為微米量級(jí),管子兩端基本上都封口)的一維量子材料。它主要由呈六邊形排列的
碳原子構(gòu)成數(shù)層到數(shù)十層的同軸圓管(見(jiàn)圖4.2.10)。

                                  

    按照石墨烯片的層數(shù),可分為單壁碳納米管和多壁碳納米管(見(jiàn)圖4.2.11),無(wú)論是多壁管還是單壁管都具有很高的長(zhǎng)徑比,一般為100~1000,最高可達(dá)1000~10000,完全可以認(rèn)為是一維材料.

              
 
    2)碳納米管的物理性質(zhì)
    ①高強(qiáng)度、低密度(強(qiáng)皮為鋼的100倍以上,密度為鋼的1/6以下);
    ②高彈性;
    ③優(yōu)良的導(dǎo)體和半導(dǎo)體特性(量子限域所致);
    ④高的比表面積;
    ⑤強(qiáng)的吸附性能;
    ⑥優(yōu)良的光學(xué)特性;
    ⑦發(fā)光強(qiáng)度隨發(fā)射電流的增大而增強(qiáng)。
     3)碳納米管在電子材料中的應(yīng)用
    (1)納米電子器件。碳納米管的電子結(jié)構(gòu)可以是金屬性質(zhì),也可以是半導(dǎo)體性質(zhì),取決于其直徑和螺旋度。因此不同直徑和螺旋度的碳納米管可以作為功能電子器件、微型電路的導(dǎo)線、最小的半導(dǎo)體裝置、納米級(jí)的晶體三極管、邏輯門和線路的連接件,應(yīng)用于微
電子器件。
    (2)高性能傳感器。碳納米管特殊的力學(xué)、電子、熱學(xué)性能,可以用于制作高靈敏度、高性能傳感器。例如,碳納米管在吸附某些氣體如H2、NH3、O2和無(wú)機(jī)氣體后電阻發(fā)生迅速的突變,可以作為電化學(xué)傳感器,用作靈敏的環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì),監(jiān)測(cè)有毒氣體含量的微弱變化和控制環(huán)境污染。
    (3)作為電極材料,用于高性能電容器、鋰離子電池等領(lǐng)域。
    (4)電子產(chǎn)品結(jié)構(gòu)材料。由于碳納米管可制造高強(qiáng)度碳纖維材料,強(qiáng)度比鋼高100倍,但重量只有鋼的六分之一,并且具有高比模量、耐高溫、熱膨脹系數(shù)小和抵抗熱變性能強(qiáng)等一系列優(yōu)異性能,因此用作產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)材料。例如,用來(lái)制作筆記本電腦外殼,不僅
可以提高結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,而且可以使產(chǎn)品微小型化和輕型化。

    2.寬禁芾化合物半導(dǎo)體納米材料
    寬禁。帶半導(dǎo)體材料能在可見(jiàn)光波段實(shí)現(xiàn)高效率的光電轉(zhuǎn)換,具有很好的應(yīng)用前景,而化合物半導(dǎo)體納米材料就是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料。目前進(jìn)入實(shí)際應(yīng)用的寬禁帶化合物半導(dǎo)體納米材料有氧化鋅和氮化鎵。
    1)氧化鋅納米材料
    Zn0作為一種壓電、壓敏和氣敏材料,很早便在電子敏感器件中應(yīng)用。但納米Zn0展現(xiàn)出新的特殊性能,使其在激光領(lǐng)域嶄露頭角
。利用納米Zn0可以實(shí)現(xiàn)短波光發(fā)射和紫外激光發(fā)射,并且容易改變光譜發(fā)射結(jié)構(gòu)并增強(qiáng)可見(jiàn)光(2個(gè)量級(jí))和紫外(1個(gè)量級(jí))光的發(fā)射強(qiáng)度;利用納米Zn()的自組裝行為得到Zn0納米線陣列激光器件;制造遠(yuǎn)紅外線反射纖維的材料等。
    2)氮化鎵納米材料
    GaN寬禁帶化合物半導(dǎo)體納米材料在信息存儲(chǔ)、顯示、打印等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。利用GaN材料體系,可以制備藍(lán)藍(lán)紫、紫
外光IEDs以及高頻、大功率電子器件以及紫外(UV)光探測(cè)器。此外,GaN基白光LED通過(guò)多種技術(shù)改進(jìn)可以提高發(fā)光效率,并且可以利用具備自聚焦透鏡作用的結(jié)構(gòu)制造大功率高亮度LED芯片,是下一代固態(tài)照明光源的基石。

    3.半導(dǎo)體超晶格材料
    半導(dǎo)體超晶格材料是一種人造的納米級(jí)的特殊半導(dǎo)體材料,由于其獨(dú)特的性能可能咸為未來(lái)半導(dǎo)體主流技術(shù)而受到廣泛關(guān)注。
    傳統(tǒng)半導(dǎo)體技術(shù)使用的是天然的晶態(tài)半導(dǎo)體材料,隨著半導(dǎo)體科技的發(fā)展,天然半導(dǎo)體材料的潛力已經(jīng)接近枯竭,已經(jīng)不能滿足
電子信息技術(shù)的發(fā)展需求,人們開(kāi)始嘗試“按需人造”,半導(dǎo)體超晶格材料應(yīng)運(yùn)而生。
    在嚴(yán)格的技術(shù)條件下,采用各種技術(shù)措施,例如分子束外延( MBE)、化學(xué)氣相淀積(CVD)、液相外延(LPE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)、化學(xué)束外延(CBE)等方法,在晶體襯底上一層疊一層地生長(zhǎng)出不同材料的納米級(jí)薄膜來(lái),每層只有幾個(gè)原子層,這樣生長(zhǎng)出來(lái)的材料叫超晶格材料。在超晶格材料中,薄膜層載流子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)由三維向二維、一維甚至零維轉(zhuǎn)變,使其具有原來(lái)天然半導(dǎo)體材料不具備的、十分獨(dú)特的性能。有人把這種天然到人造的轉(zhuǎn)化,形象地用“摻雜工程”到“能帶工程”轉(zhuǎn)換來(lái)概括其本質(zhì)。超品格材料的出現(xiàn)將進(jìn)一步促進(jìn)半導(dǎo)體器件的發(fā)展,從而開(kāi)辟半導(dǎo)體發(fā)展的新天地。
    分子束外延技術(shù)是制備半導(dǎo)體超晶格材料的主要技術(shù),圖4.2.12所示為MBE的結(jié)構(gòu)。隨著技術(shù)的發(fā)展,現(xiàn)在人們已經(jīng)可以利用MBE,制備材料組成的異質(zhì)結(jié)和超品格。GaAs/AIGaAs材料體系、GaAs襯底上和InP襯底上的InGaAs/AIGaAs材料體系以及SiGe/Si異質(zhì)結(jié)超品格是近年開(kāi)發(fā)出的幾種重要的半導(dǎo)體超晶格,其中有的已經(jīng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。 

                            
    4.硅基半導(dǎo)體納米材料
    硅基半導(dǎo)體材料的尺寸達(dá)到納米級(jí)(納米硅晶、納米硅線,約為6nm)時(shí),在靠近可見(jiàn)光波段就會(huì)有較強(qiáng)的發(fā)光現(xiàn)象。同時(shí),硅基納米結(jié)構(gòu)如Si02納米線和多孔硅的發(fā)光現(xiàn)象,表明硅和硅基半導(dǎo)體納米材料在電子和光電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用前景。
    1)硅和二氧化硅納米線
    基于量子限域效應(yīng),Si納米線(SiNWs)、Si納米管(SiNTs)以及其他Si納米結(jié)構(gòu)具有特異的電學(xué)、光學(xué)、機(jī)械和化學(xué)性質(zhì),可制成一維量子線、高速場(chǎng)發(fā)射晶體管和小型微波發(fā)射器等功能元件。
    硅納米線的量子限域效應(yīng)與材料的低維度相關(guān),襯底上生長(zhǎng)的Si納米線有很高的表面/體積比。SiNWs具有很多潛在的應(yīng)用前景,如制造高容量、小尺寸可充電電池以及用SiNWs作鋰電池的電極材料,其容量比傳統(tǒng)的高8倍。
    2)多孔硅
    近年,多孔硅在微電子及光電子學(xué)等領(lǐng)域,如在發(fā)光器件、大屏幕顯示等方面有較多應(yīng)用。更重要的是,多孔硅可能為以硅為基底的光電子學(xué)的發(fā)展開(kāi)啟新路,將多孔硅發(fā)光性能與已經(jīng)高度發(fā)展的集成電路技術(shù)結(jié)合起來(lái),具有巨大的應(yīng)用前景,使多孔硅成為納米電子材料中引人注目的熱點(diǎn)。
    多孔硅是一種具有非晶體特性的特殊材料。采用一定技術(shù)制造的多孔硅,硅層中形成許多孤立的孑L洞,當(dāng)孔度達(dá)到80%時(shí),相鄰的孔將連通,而留下一些孤立的晶柱或晶絲,稱為量子線,如圖4.2.13(a)所示,而且量子線的結(jié)構(gòu)是有序的;圖4.2.13 (b)是多孔硅的結(jié)構(gòu),呈現(xiàn)為無(wú)規(guī)則的珊瑚狀,其中包含了一些絲狀物,這就是量子線。

                            

     多孔硅能發(fā)射很強(qiáng)的可見(jiàn)光,波長(zhǎng)可以從紅、橙、黃直到綠色,且波長(zhǎng)與多孔硅孔度有關(guān)。其發(fā)光機(jī)理有多種模型,如量子尺寸效應(yīng)、非晶發(fā)光以及表面相關(guān)等,迄今仍處于探索階段。    L5026X1082  


 

 

 

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