新型的旋轉(zhuǎn)貼片頭。貼片頭的結(jié)N4803FD300構(gòu)如圖11.51所示。從圖11.51中可以看出，旋轉(zhuǎn)頭從拾取元器件到貼放元器件，整個(gè)動(dòng)作通過(guò)分度頭（INDEX裝置），在圓筒凸輪和片板凸輪的配合下完成拾�。N放等多種間歇?jiǎng)幼�，凸輪曲線的精密設(shè)計(jì)，確保了在0.04s內(nèi)，旋轉(zhuǎn)頭在運(yùn)動(dòng)加速度達(dá)1幻的情況下，高精度完成拾取一檢測(cè)一校正一貼裝整個(gè)動(dòng)作。

             
    提高臼旋轉(zhuǎn)精度。貼片機(jī)定位精度包括X/Y運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)定位精度與確旋轉(zhuǎn)精度，對(duì)于大尺寸的元器件來(lái)說(shuō)，鏇轉(zhuǎn)起到主導(dǎo)作用，特別在高速運(yùn)動(dòng)中為了矯正元器件吸取后所發(fā)生的△鉑移量，以往這類(lèi)型貼片機(jī)采用外部裝置進(jìn)行校正AO但隨著貼裝速度高速化，與驅(qū)動(dòng)部件的接觸也變得相當(dāng)高速，驅(qū)動(dòng)部件與吸嘴接觸時(shí)會(huì)給吸著的電子元器件很大沖擊，并有可能引起貼裝發(fā)生偏移，在MSR的吸嘴裝置上安裝了高精度的脈沖電動(dòng)機(jī)，并直接通過(guò)高精度、低振動(dòng)的諧波驅(qū)動(dòng)(Harmonic Drive)減速器與吸嘴相連接，有效地提高鏇轉(zhuǎn)精度。脈沖電動(dòng)機(jī)的銷(xiāo)度為0.072。／脈沖，通過(guò)諧波驅(qū)動(dòng)器減速后，吸嘴的秒定位精度提高到0.0024。／脈沖，從而確保了實(shí)現(xiàn)高精度貼裝，如圖11.52歷示。