電容式傳感器是實(shí)現(xiàn)非電量到電容量轉(zhuǎn)化的一類傳感器，它可以應(yīng)用于位移、振動(dòng)、角度、 G4PF50FD2加速度等參數(shù)的測(cè)量中。由于電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、分辨率高，且可非接觸測(cè)量，因此很有應(yīng)用前景。

   電容式傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)

   由絕緣介質(zhì)分開的兩個(gè)平行金屬板組成的平板電容器，

    如果不考慮邊緣效應(yīng)，其電容量為式中，占為電容極板間介質(zhì)的介電常數(shù)，其中80為真空介電常數(shù)，介質(zhì)相對(duì)介電常數(shù)；4為兩平行板所覆蓋的面積；d為兩平行板之間的距離。

   當(dāng)被測(cè)參數(shù)變化使得中的A，d或占發(fā)生變化時(shí)，電容量C也隨之變化。如果保持其中兩個(gè)參數(shù)不變，而僅改變其中一個(gè)參數(shù)，就可把該參數(shù)的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化，通過(guò)測(cè)量電路就可將其轉(zhuǎn)換為電量輸出。因此，電容式傳感器可分為變極距型、變面積型和變介質(zhì)型3種類型。

   在實(shí)際使用時(shí)，電容式傳感器常以改變平行板間距d來(lái)進(jìn)行測(cè)量，因?yàn)檫@樣獲得的測(cè)量靈敏度高于改變其他參數(shù)的電容傳感器的靈敏度。改變平行板間距d的傳感器可以測(cè)量微米數(shù)量級(jí)的位移，而改變面積A的傳感器只適用于測(cè)量厘米數(shù)量級(jí)的位移。