(1)溫度穩(wěn)定性好。G4PF50W電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻式傳感器有電阻，供電后產生熱量；電感式傳感器有銅損、磁游和渦流損耗等，易發(fā)熱而產生零漂。

   (2)結構簡單。電容式傳感器結構簡單，易于制造，易于保證較高的精度，可以做得非常小巧，以實現某些特殊的測量；能工作在高溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力、高沖擊、過載等；能測量超高溫和低壓差，也能對帶磁工作進行測量。

   (3)動態(tài)響應好。電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很�。s幾個10。5N），需要的作用能量極小，又由于它的可動部分可以做得很小、很薄，即質量很輕，因此其固有頻率很高，動態(tài)響應時間短，能在數兆赫茲的頻率下工作，特別適用干動態(tài)測量。又由于其介質損耗小，可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數。

   (4)可以實現非接觸測量，具有平均效應。例如，非接觸測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。

   電容式傳感器除了上述的優(yōu)點外，還因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測極低的壓力、力，以及很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力高，能敏感0. Olym甚至更小的位移；由于其空氣等介質損耗小，采用差動結構并接成電橋式時產生的零點殘余電壓極小，因此允許電路進行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度。