金屬材料，蒸涂一薄層金屬作為極板。

   靜電引力  電容式傳感器的兩個極板間因存在靜電靜電引力的大小與極板間的工作電壓、介電常數(shù)、極間距離有但在采用推力很小的彈性敏感元件情況下.

   溫度影響環(huán)境溫度的變化將改變電容式傳感器的輸出相對被測輸入量的單值函數(shù)關(guān)系，從而引入溫度干擾誤差。這種影響主要有以下兩個方面。

   溫度對結(jié)構(gòu)尺寸的影響：電容式傳感器由于極間隙很小而對結(jié)構(gòu)足寸的變化特別敏感。在傳感器各零件材料線膨脹系數(shù)不匹配的情況下，溫度變化將導(dǎo)致極間隙較大的相對變化，從而產(chǎn)生很大的溫度誤差。在設(shè)計電容式傳感器時，適當選擇材料及有關(guān)結(jié)構(gòu)參數(shù)，可以滿足溫度誤差補償要求。

   溫度對介質(zhì)的影響：溫度對介電常數(shù)的影響隨介質(zhì)不同而異，空氣及云母的介電常數(shù)溫度系數(shù)近似為零；而某些液體介質(zhì)，如硅油、蓖麻油、煤油等，其介電常數(shù)的溫度系數(shù)較大。例如，煤油的介電常數(shù)的溫度系數(shù)可達0. 07%／℃：若環(huán)境溫度變化±50。C，則將帶來7 010的溫度誤差，故采用此類介質(zhì)時，必須注意溫度變化造成的誤差。