氣敏電阻的種類
發(fā)布時間:2014/11/11 12:15:44 訪問次數(shù):4438
氣敏電阻種類很多,按制造工藝分為燒結(jié)型、薄膜型和厚膜型等。
1)燒結(jié)型氣敏元件將元件的電極和加熱器均埋在金屬氧化物氣敏材料中, RHRP15120經(jīng)加熱成型后低溫?zé)Y(jié)而成。目前最常用的是氧化錫( Sri02)燒結(jié)型氣敏元件,它的加熱溫度較低,一般為200~300℃,Sfi02氣敏元件對許多可燃性氣體(如氫、一氧化碳、甲烷、丙烷、乙醇等)都有較高的靈敏度。
2)薄膜型氣敏元件采用真空鍍膜或濺射方法,在石英或陶瓷基片上制成金屬氧化物薄膜(厚度為0.1¨m以下),構(gòu)成薄膜型氣敏元件。
氧化鋅( Zn0)薄膜型氣敏元件以石英玻璃或陶瓷作為絕緣基片,通過真空鍍膜在基片上蒸鍍金屬鋅,用鉑或鍶膜作引出電極,最后將基片上的鋅氧化。Zn0敏感材料是N型半導(dǎo)體,當添加鉑作催化劑時,對丁烷、丙烷、乙烷等烷烴氣體有較高的靈敏度,而對H2、C02等氣體靈敏度很低。若用鈀作為催化劑時,對H2、CO有較高的靈敏度,而對烷烴類氣體靈敏度低。因此,這種元件有良好的選擇性,工作溫度為400~ 500。C。
3)厚膜型氣敏元件將氣敏材料(如Sr102、Zn0)與一定比例的硅凝膠混制成能印刷的厚膜膠。把厚膜膠用絲網(wǎng)印刷到事先安裝有鉑電極的氧化鋁( Al2 03)基片上,在400~800℃的溫度下燒結(jié)1—2h便制成厚膜型氣敏元件。用厚膜工藝制成的元件一致性較好,機械強度高,適于批量生產(chǎn)。
以上3種氣敏電阻都附有加熱器,在實際應(yīng)用時,加熱器能將附著在測控部分上的油霧、塵埃等燒掉,同時加速氣體氧化還原反應(yīng),從而提高元件的靈敏度和響應(yīng)速度。
氣敏電阻種類很多,按制造工藝分為燒結(jié)型、薄膜型和厚膜型等。
1)燒結(jié)型氣敏元件將元件的電極和加熱器均埋在金屬氧化物氣敏材料中, RHRP15120經(jīng)加熱成型后低溫?zé)Y(jié)而成。目前最常用的是氧化錫( Sri02)燒結(jié)型氣敏元件,它的加熱溫度較低,一般為200~300℃,Sfi02氣敏元件對許多可燃性氣體(如氫、一氧化碳、甲烷、丙烷、乙醇等)都有較高的靈敏度。
2)薄膜型氣敏元件采用真空鍍膜或濺射方法,在石英或陶瓷基片上制成金屬氧化物薄膜(厚度為0.1¨m以下),構(gòu)成薄膜型氣敏元件。
氧化鋅( Zn0)薄膜型氣敏元件以石英玻璃或陶瓷作為絕緣基片,通過真空鍍膜在基片上蒸鍍金屬鋅,用鉑或鍶膜作引出電極,最后將基片上的鋅氧化。Zn0敏感材料是N型半導(dǎo)體,當添加鉑作催化劑時,對丁烷、丙烷、乙烷等烷烴氣體有較高的靈敏度,而對H2、C02等氣體靈敏度很低。若用鈀作為催化劑時,對H2、CO有較高的靈敏度,而對烷烴類氣體靈敏度低。因此,這種元件有良好的選擇性,工作溫度為400~ 500。C。
3)厚膜型氣敏元件將氣敏材料(如Sr102、Zn0)與一定比例的硅凝膠混制成能印刷的厚膜膠。把厚膜膠用絲網(wǎng)印刷到事先安裝有鉑電極的氧化鋁( Al2 03)基片上,在400~800℃的溫度下燒結(jié)1—2h便制成厚膜型氣敏元件。用厚膜工藝制成的元件一致性較好,機械強度高,適于批量生產(chǎn)。
以上3種氣敏電阻都附有加熱器,在實際應(yīng)用時,加熱器能將附著在測控部分上的油霧、塵埃等燒掉,同時加速氣體氧化還原反應(yīng),從而提高元件的靈敏度和響應(yīng)速度。
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