半導體氣敏傳感器是利用氣體吸附而使半導體本身的電導率發(fā)生變化，K2018用這一原理進行檢測常用金屬氧化物半導體主要有Sri()2、Zn0、Fez 03等。

   Sn02氣敏元件傳感器

    Sn02氣敏元件的工作原理Sn02的熔點為1625℃，性能穩(wěn)定，不溶于水，具有紅寶石結(jié)構(gòu)，是一種N型半導體。氣敏元件工作時必須加熱，其目的是：加速被測氣體的吸附、脫離過程，燒去氣敏元件的油垢或污物，起清洗作用�？刂撇煌募訜釡囟�，能對不同的被測氣體具有選擇作用。加熱溫度與元件輸出靈敏度有關(guān)，如圖7-1所示，一般為200～400℃。氣敏元件被加熱到穩(wěn)定狀態(tài)后，被測氣體接觸元件的表面而被吸附后，元件的電阻會產(chǎn)生較大的變化。

   Sn02元件能與空氣中電子親和性大的氣體(如02和N()2等）發(fā)生反應，形成吸附氧分子會束縛晶體中的電子，使N型材料的表面空間電荷層的傳導電子減少，從而使器件處于高阻狀態(tài)。在與被測氣體接觸時，氕體與吸附氧發(fā)生反應，將被氧束縛的電子釋放出來，表面電導增加，使器件電阻減小。N型半導體氣敏元件在檢測中的阻值變化情況如圖7-2所示。