旁熱式Snoz氣敏元件  旁熱式K2018-01L氣敏元件實(shí)際上是一種厚膜型元件，其結(jié)構(gòu)圖如圖7-4所示，在一根內(nèi)經(jīng)為0.8ym外徑為1.2弘m的薄壁陶瓷管的兩端設(shè)置一對(duì)金電極及鉑一銥合金絲引出線，然后在瓷管的外壁涂覆由基礎(chǔ)材料配制的漿料層，經(jīng)燒結(jié)后形成厚膜氣體敏感層厚度。在陶瓷管內(nèi)放人一根螺旋形高阻金屬絲【例如Ni-Cr絲）作為加熱器(加熱器電阻值一般為30～40C1)。這種管芯的測(cè)量電極與加熱器分離，避免了相互干擾，而且元件的熱容量較大，減少了環(huán)境溫度變化對(duì)敏感元件特性的影響。其可靠性和使用壽命比直熱式氣敏元件高。目前市場(chǎng)所售的Sn02系列氣敏元件大多為這種結(jié)構(gòu)形式，圖7-4所示是旁熱式Sn02氣敏元件的結(jié)構(gòu)與符號(hào)。

    圖7-4旁熱式氣敏元件結(jié)構(gòu)與符號(hào)

   厚膜型Sn02氣敏元件厚膜型Sn02氣敏元件是用絲網(wǎng)印刷技術(shù)將漿料印刷而成的，其機(jī)械強(qiáng)度和一致性都比較好，而且與厚膜混合的集成電路工藝能較好相容，可將氣敏元件與阻容元件制作在同一塊基片上，利用微型組裝技術(shù)與半導(dǎo)體集成電路芯片組裝在一起，構(gòu)成具有一定功能的器件。它一般由基片、加熱器和氣體敏感層三個(gè)主要部分組成，其結(jié)構(gòu)如圖7-5所示。其氣敏特性如圖7-6所示。