①安裝激光干涉儀；

   ②對(duì)光；

   ③生成檢測(cè)程序；

   ④開始檢測(cè)方向間隙；

   ⑤數(shù)據(jù)分析；

   ⑥補(bǔ)正方向間隙；

   ⑦開始檢測(cè)螺距誤差；

   ⑧數(shù)據(jù)分析；

   ⑨補(bǔ)正絲杠螺距誤差。

   本系統(tǒng)有EC10環(huán)境補(bǔ)償裝置可以補(bǔ)償激光器，A40MX02-PL44I 在光束波長(zhǎng)在氣溫、氣壓及相對(duì)濕度影響之下大多數(shù)機(jī)床會(huì)隨著溫度變化膨脹或收縮，可能導(dǎo)致校準(zhǔn)發(fā)生誤差，如圖8-11所示為補(bǔ)償所用傳感器。為了避免校準(zhǔn)誤差，線性測(cè)量軟件納入一種稱為熱啜脹補(bǔ)償或“歸一化”的數(shù)學(xué)修正，應(yīng)用在線性激光讀數(shù)上。軟件使用膨脹系數(shù)將測(cè)量加以歸一（膨脹系數(shù)需手動(dòng)輸入），并使用EC10來測(cè)量平均機(jī)床溫度，修正目的是要評(píng)估在20℃的溫度下執(zhí)行校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)得的激光器校準(zhǔn)結(jié)果。

   在重復(fù)測(cè)量后出現(xiàn)兩個(gè)數(shù)據(jù)之間的差別，經(jīng)過補(bǔ)芷就可以得到較好的效果，如檢測(cè)SIEMENS 802D螺距誤差有關(guān)的參數(shù)，在反向間隙沒有補(bǔ)差之前的數(shù)據(jù)為26/1m，補(bǔ)償后為OFLm。

   螺距誤差在補(bǔ)償之前誤差范圍在5～- 20_um之間，補(bǔ)償后在3～-8pm之間。