從氦氖激光器1發(fā)出的激光束經(jīng)平行光管后將光束變?yōu)楣獍咧睆竭_(dá)咖50mm的平行光，F1CA012V經(jīng)反射鏡2至分光器3隨即將光束分成兩路：一路光逶過(guò)分光器經(jīng)反射鏡4射人固定角錐棱鏡5；另一路由分光器反射至可動(dòng)角錐棱鏡6。分光器3至固定角錐棱鏡5為一固定的光程；分光器3至可動(dòng)角錐棱鏡6為一隨工作臺(tái)10移動(dòng)而變化的光程，兩者的光程差為激光半波長(zhǎng)的偶數(shù)倍時(shí)出現(xiàn)亮條紋，奇數(shù)倍 時(shí)出現(xiàn)暗條紋，所以工作臺(tái)10連續(xù)移動(dòng)時(shí)就會(huì)產(chǎn)生亮暗交替變化的條紋。相移板7將干涉圖樣分為兩組，此兩組干涉條紋的位相差為900。分像棱鏡組8是將兩組位相差為90。的干涉條紋分別引入兩個(gè)光電倍增管，光電倍增管將交替變化的亮暗信號(hào)變?yōu)閮陕肺幌?/span>差為90。的電信號(hào)，再經(jīng)過(guò)放大整形電路實(shí)行倍頻處理傳遞給計(jì)算機(jī)。裝在橫梁上的雙管差動(dòng)式動(dòng)態(tài)光電顯微鏡9供作瞄準(zhǔn)被檢尺上的刻線用。當(dāng)工作臺(tái)10運(yùn)動(dòng)，即基準(zhǔn)尺的刻線通過(guò)光電顯微鏡的兩個(gè)狹縫時(shí)，刻線的影像即被置于兩個(gè)狹縫后面的光電倍增管分別接收，經(jīng)差動(dòng)放大器，觸發(fā)器轉(zhuǎn)換成電脈沖作為計(jì)算機(jī)的指令信號(hào)，控制計(jì)算機(jī)使其計(jì)算結(jié)果顯示出來(lái)并打印記錄。

   周圍的空氣折射率可由折射率干涉儀測(cè)出，被測(cè)尺的溫度由鉑電阻溫度計(jì)與銅一康銅熱電偶測(cè)出，然后將其二項(xiàng)修正量在計(jì)算機(jī)上擺定，以便對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行自動(dòng)修正。

   上面介紹的每種方法和原理，目前還在發(fā)展中。而且，這些數(shù)據(jù)會(huì)因具體條件而有很大的差別。為了得到針對(duì)具體應(yīng)用對(duì)象的確切結(jié)果，常常要做實(shí)驗(yàn)研究工作，或者借鑒類似的工作研究成果，這樣可使儀器設(shè)計(jì)更趨完善。