例3 -4圖3-8所示為一激光干涉測(cè)量裝置的光路圖。激光器發(fā)出的激光束被移相分光鏡分裂為兩束，MAX122ACWG兩個(gè)角耦棱鏡，一個(gè)為參考鏡，另一個(gè)為與被測(cè)件相連接的可動(dòng)鏡。儀器在調(diào)整時(shí)，應(yīng)使得可動(dòng)鏡的運(yùn)動(dòng)方向與激光束水平方向的光軸平行，若兩者存在夾角AO，當(dāng)被測(cè)長(zhǎng)度（可動(dòng)鏡的移動(dòng)距離）為L(zhǎng)時(shí)，則從光電接收器接收的脈沖數(shù)所反映的長(zhǎng)度為￡7。求其測(cè)量誤差A(yù)/。

   可見(jiàn)由于導(dǎo)軌方向調(diào)整不正確所引起的測(cè)量誤差為二階微量。不過(guò)，當(dāng)被測(cè)的長(zhǎng)度

￡較大時(shí)，導(dǎo)軌方向的調(diào)整，還是要盡量使AO值為最小。如△臼=0.11100，當(dāng)L=200mm時(shí).

   幾何法的優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單、直觀，但應(yīng)用在復(fù)雜機(jī)構(gòu)上則較為困難。

   針對(duì)機(jī)構(gòu)誤差的特點(diǎn)，還有一些求測(cè)量誤差的其他方法，如逐步投影法、瞬時(shí)臂法等。