固態(tài)傳感器包含多種過渡金屬的金屬氧化物，如氧化錫、氧化鋁等。這些金屬氧化物被制成漿狀物，AD7191BRUZ用于制作珠型傳感器，或者把金屬氧化物真空沉積到硅芯片表面上，制作成厚膜或薄芯片傳感器，其方法與制作半導(dǎo)體相類似[15]。

   由于傳感器成品在不同溫度范圍內(nèi)顯示出不同的氣體反應(yīng)特性，因此傳感器采用加熱元件來調(diào)節(jié)溫度，這種加熱元件常采用鉑絲、鉑合金絲電阻或金屬氧化物等。然后在規(guī)定高溫下對傳感器進行處理，這種高溫可以確定傳感器成品的具體特性。有氕體出現(xiàn)時，金屬氧化物使氣體分解為帶電離子或?qū)е码娮愚D(zhuǎn)移的復(fù)合物[16]。內(nèi)置的加熱器會將金屬材料加熱到最適合于待檢測氣體的工作溫度范圍內(nèi)，加熱器由專用電路進行調(diào)節(jié)和控制。金屬氧化物中置有一對偏壓電極，用于測量其傳導(dǎo)性變化。由于與氣體分子的相互反應(yīng)，導(dǎo)致傳感器傳導(dǎo)性發(fā)生變化，其變化以信號形式進行測量。制作固態(tài)傳感器的方法各種各樣，每種方法產(chǎn)生的傳感器性能特性各不相同。圖14和圖1-5所示為兩種典型的傳感器類型。