熱電子的來源一般分為襯底熱電子和溝道熱電子兩類
發(fā)布時間:2015/6/23 19:07:45 訪問次數(shù):981
熱載流子主要為熱電子,AD8206YRZ所以N溝道MOS器件的熱載流子效應比P溝道的要明顯。文獻報道:對深亞微米器件,有效溝道長度縮短到0. 15ym,VDS降至1.8V時仍發(fā)生熱載流子效應,此時PMOS的熱載流子效應變礙明顯起來。
熱電子的來源一般分為襯底熱電子和溝道熱電子兩類,它對應于器件不同的工作狀態(tài)。當VD與Vs接地,VcS>0,VBS<0(B為襯底)時,主要產(chǎn)生襯底熱電子,它起源于漏電電流。當襯底摻雜濃度增加,襯底負電壓增大及溝道長寬比很大時,都使襯底熱電子效應顯著。如果V GS一VDS,VBS<0,主要是溝道熱電子效應,此時注入?yún)^(qū)主要發(fā)生在漏結(jié)附近,與襯底熱電子基本上從柵下均勻注入不同,所以是V DS控制溝道熱電子注入量。當漏電壓一定時,VT與工。。。隨VGS變化的情況如圖4.7a所示,可見當VGS是VDS的一半左右時,VT與,。。。均達到最大值。這是因為此時漏極附近形成高電場區(qū),載流子一進入該區(qū),就從電場獲得高的能量而成為熱載流子。另外,漏極附近熱載流子的運動因碰撞電離而產(chǎn)生電子一空穴對。產(chǎn)生的多數(shù)空穴流向襯底,形成j。。。,部分空穴隨著漏極向柵極正向電場的形成而注入氧化層中,這樣電子和空穴兩種熱載流子都注入Si02,將引起器件特性的很大變動,這時的條件叫雪崩熱載流子條件。
熱載流子主要為熱電子,AD8206YRZ所以N溝道MOS器件的熱載流子效應比P溝道的要明顯。文獻報道:對深亞微米器件,有效溝道長度縮短到0. 15ym,VDS降至1.8V時仍發(fā)生熱載流子效應,此時PMOS的熱載流子效應變礙明顯起來。
熱電子的來源一般分為襯底熱電子和溝道熱電子兩類,它對應于器件不同的工作狀態(tài)。當VD與Vs接地,VcS>0,VBS<0(B為襯底)時,主要產(chǎn)生襯底熱電子,它起源于漏電電流。當襯底摻雜濃度增加,襯底負電壓增大及溝道長寬比很大時,都使襯底熱電子效應顯著。如果V GS一VDS,VBS<0,主要是溝道熱電子效應,此時注入?yún)^(qū)主要發(fā)生在漏結(jié)附近,與襯底熱電子基本上從柵下均勻注入不同,所以是V DS控制溝道熱電子注入量。當漏電壓一定時,VT與工。。。隨VGS變化的情況如圖4.7a所示,可見當VGS是VDS的一半左右時,VT與,。。。均達到最大值。這是因為此時漏極附近形成高電場區(qū),載流子一進入該區(qū),就從電場獲得高的能量而成為熱載流子。另外,漏極附近熱載流子的運動因碰撞電離而產(chǎn)生電子一空穴對。產(chǎn)生的多數(shù)空穴流向襯底,形成j。。。,部分空穴隨著漏極向柵極正向電場的形成而注入氧化層中,這樣電子和空穴兩種熱載流子都注入Si02,將引起器件特性的很大變動,這時的條件叫雪崩熱載流子條件。
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