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電荷汞技術(shù)

發(fā)布時間:2015/6/23 19:09:47 訪問次數(shù):1606

    熱載流子效應(yīng)引起器件性能退化,AD8227ARZ原因在于界面態(tài)的產(chǎn)生及電荷注入氧化層中。目前研究界面態(tài)情況及氧化層中電荷性質(zhì)的一項有效手段是電荷泵(Charge Pumping,CP)技術(shù),其原理如圖4.8所示。    

          

   圖4.8  電荷泵測試原理圖

   MOS器件的源和漏極連在一起后與襯底間施加一反向偏壓V,,柵極連接脈沖發(fā)生器,波形及幅度由示波器監(jiān)控。脈沖常用矩形波,幅度為AVA,脈沖上升、下降時間分別為、f,脈沖周期為TP,重復(fù)頻率為廠,脈沖上疊加偏置電壓VB。當(dāng)脈沖電壓使N溝道MOS器件從堆積進入反型時,從源一漏區(qū)進入溝道的電子,一部分被界面態(tài)所俘獲,當(dāng)柵脈沖使溝道區(qū)回到堆積時,溝道區(qū)中未被俘獲的電子在反向偏壓V.作用下又回到源(漏)極,但被界面態(tài)俘獲的少子與來自襯底的多子(空穴)復(fù)合,這樣通過界面態(tài)產(chǎn)生一個自襯底到漏源區(qū)的凈電荷流動,此即所謂的電荷泵電流,也即襯底電流,。u,它由串在襯底回路中的電流計測出.


    熱載流子效應(yīng)引起器件性能退化,AD8227ARZ原因在于界面態(tài)的產(chǎn)生及電荷注入氧化層中。目前研究界面態(tài)情況及氧化層中電荷性質(zhì)的一項有效手段是電荷泵(Charge Pumping,CP)技術(shù),其原理如圖4.8所示。    

          

   圖4.8  電荷泵測試原理圖

   MOS器件的源和漏極連在一起后與襯底間施加一反向偏壓V,,柵極連接脈沖發(fā)生器,波形及幅度由示波器監(jiān)控。脈沖常用矩形波,幅度為AVA,脈沖上升、下降時間分別為、f,脈沖周期為TP,重復(fù)頻率為廠,脈沖上疊加偏置電壓VB。當(dāng)脈沖電壓使N溝道MOS器件從堆積進入反型時,從源一漏區(qū)進入溝道的電子,一部分被界面態(tài)所俘獲,當(dāng)柵脈沖使溝道區(qū)回到堆積時,溝道區(qū)中未被俘獲的電子在反向偏壓V.作用下又回到源(漏)極,但被界面態(tài)俘獲的少子與來自襯底的多子(空穴)復(fù)合,這樣通過界面態(tài)產(chǎn)生一個自襯底到漏源區(qū)的凈電荷流動,此即所謂的電荷泵電流,也即襯底電流,。u,它由串在襯底回路中的電流計測出.


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