1．布線幾何形狀的影響

   從統(tǒng)計觀點來看，LC6543N-4E07金屬條是由許多含有結(jié)構(gòu)缺陷的體積元串接而成的，而薄膜的壽命將由結(jié)構(gòu)缺陷最嚴重的體積元決定。若單位長度的缺陷數(shù)目是常數(shù)，隨著膜長的增加，總缺陷數(shù)也增加，所以膜條越長壽命越短，壽命隨布線長度而呈指數(shù)函數(shù)縮短，在某值處趨近恒定。

   同樣，當線寬比材料晶粒直徑大時，線寬越大，引起橫向斷條的空洞形成時間越長，壽命增長。但當線寬降到與金屬晶粒直徑相近或以下時，斷面為單個晶粒，金屬離子沿晶粒界面擴散減少，隨著條寬變窄，壽命也會延長.

   當電流恒定時，線寬增加，電流密度降低，本身電阻及發(fā)熱量下降，電遷移效應就不顯著。如果線條截面積相同，條件允許，增加線寬比增加厚度的效果要好。

   在臺階處，由于布線形成過程中臺階覆蓋性不好，厚度降低，J增加，易產(chǎn)生斷條。

   2．熱效應

   由tMTF的公式可知，金屬膜的溫度及溫度梯度（兩端的冷端效應）對電遷移壽命的影響極大，當J >106 A/cm2時，焦耳熱不可忽略，膜溫與環(huán)境溫度不能視為相同。特別是，當金屬條的電阻率較大時，影響更明顯。條中載流子不僅受晶格散射，還受晶界和表面散射，其實際電阻率高于該材料體電阻率，使膜溫隨電流密度-，增長更快。

   3．晶粒大小

   實際的鋁布線為一多晶結(jié)構(gòu)，鋁離子可通過晶間、晶界及表面三種方式擴散，在多晶膜中晶界多，晶界的缺陷也多，激活能小，所以主要通過晶界擴散而發(fā)生電遷移。在一些粒的交界處，如圖4. 15所示(A和B處)，由于金屬離子的散度不為零，會出現(xiàn)凈質(zhì)量的堆積和虧損。在A點，進來的金屬離子多于出去的，所以成為小丘堆積，B處則相反，成為空洞。