微電子器件在加工生產(chǎn)、組裝、儲(chǔ)存及運(yùn)輸過(guò)程中，可能與帶靜電的容器、HCPL-M454測(cè)試設(shè)備及操作人員相接觸，所帶靜電經(jīng)過(guò)器件引線放電到地，使器件受到損傷或失效，這就叫靜電放電電損傷( ESD)。它對(duì)各類器件都有損傷，而MOS器件特別敏感。

   靜電的來(lái)源

   通常物體上所帶正、負(fù)電荷相等而呈電中性，因某種原因使物體上電荷發(fā)生轉(zhuǎn)移時(shí)，物體即變成帶電體。所帶電荷被絕緣體隔離起來(lái)不能與異性電荷相中和稱為靜電。靜電產(chǎn)生的方法很多。最普通即兩種物體相互摩擦（多次的緊密接觸和分離過(guò)程）而帶電；導(dǎo)體或電介質(zhì)在靜電場(chǎng)產(chǎn)生靜電感應(yīng)而帶電，固體、流體及氣體物質(zhì)在相對(duì)運(yùn)動(dòng)、摩擦、擠壓、研磨等過(guò)程中也可帶電。人在活動(dòng)過(guò)程中，衣服、鞋以及所戴用具均可因摩擦或解除一分離

過(guò)裎而產(chǎn)生靜電。如穿塑料鞋在化纖地毯上行走時(shí)，人體靜電電壓可達(dá)近萬(wàn)伏（與當(dāng)時(shí)空氣的相對(duì)濕度有關(guān)）。靜電電壓U是由帶電體所帶電荷量Q與其對(duì)地電容cco=cu)而決定的。一般電荷量較小，但對(duì)地電容也很小，所以靜電電位可以很高。靜電的特征是電壓高及電荷量小。