凈化間內(nèi)的污染源是指任何影響產(chǎn)品生產(chǎn)或產(chǎn)品功能的一切事物。H30R1202由于固態(tài)器件的要求較高，所以就決定r它的潔凈度要求遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于大多數(shù)其他工業(yè)的潔凈程度。實際上生產(chǎn)期間任何與產(chǎn)品相接觸的物質(zhì)都是潛在的污染源。主要的污染源有：

   1．空氣

   2．廠務(wù)設(shè)備

   3．凈化間工作人員

   4．工藝使用水

   5．r藝化學(xué)溶液

   6．工藝化學(xué)氣體

   7．靜電

   8．工藝設(shè)備

   每種污染源產(chǎn)生特殊類型和級別的污染，需要對其進(jìn)行特殊控制以滿足凈化間的要求。，

   普通空氣中含有許多污染物，只有經(jīng)過處理后才能進(jìn)入凈化問。最主要的問題是含有在空氣中傳播的顆粒，…般指微粒( particulate)或浮塵(aerosol)。普通空氣包含大量的微小顆粒或粉塵，微小顆粒（也稱為浮塵）的主要問題是在空氣中長時間飄�。憾鴥艋g的潔凈度就是由空氣中的微粒大小和微粒含量來決定的。

   美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E規(guī)定空氣質(zhì)量由區(qū)域中空氣級別數(shù)(class number)來表示5。標(biāo)準(zhǔn)按兩種方法設(shè)定，一是顆粒大小，二是顆粒密度。區(qū)域中空氣級別數(shù)是指在l立方英尺㈩中所含直徑為0.5ht,m或更大的顆�？倲�(shù)。一般城市的空氣中通常包含煙、霧、氣。每立方英尺有多達(dá)500萬個顆粒，所以是500萬級。隨著芯片部件尺寸的更新?lián)Q代，不斷提高的芯片靈敏度要求越來越小的顆粒6“I。