美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E規(guī)定空氣質(zhì)量由區(qū)域中空氣級(jí)別數(shù)(class number)來表示5。標(biāo)準(zhǔn)按HC4040兩種方法設(shè)定，一是顆粒大小，二是顆粒密度。區(qū)域中空氣級(jí)別數(shù)是指在l立方英尺㈩中所含直徑為0.5ht,m或更大的顆�？倲�(shù)。一般城市的空氣中通常包含煙、霧、氣。每立方英尺有多達(dá)500萬個(gè)顆粒，所以是500萬級(jí)。隨著芯片部件尺寸的更新?lián)Q代，不斷提高的芯片靈敏度要求越來越小的顆粒6“I。

   圖5.6顯示了由ISO/（美國(guó)）聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E規(guī)定的顆粒直徑與顆粒密度的關(guān)系。Ml級(jí)展示r 300 mm或450 mm晶圓制造生產(chǎn)區(qū)域要求的更高的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，j圖5.7列出』，不同環(huán)境F-潔凈度級(jí)別數(shù)與對(duì)應(yīng)的顆粒大�。�(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E規(guī)定最小潔凈度可到一級(jí)，因?yàn)?09E以0.5 ym的顆粒定義潔凈度，而成功的晶圓加工工藝要求更嚴(yán)格的控制，所以_『：程技術(shù)人員_I：程師們致力于減少10級(jí)和l級(jí)環(huán)境中0.1r.l,m顆粒的數(shù)最。例如，Semetech建議的規(guī)范是在加工車間為0.1級(jí)和卒氣為0.01級(jí)7。