由于質(zhì)量流量計(jì)( mass flowmeter)特有的高精度，所以比流量計(jì)更好。按化學(xué)OM3750計(jì)量組成所需的流入爐管的氣體用其質(zhì)量來(lái)計(jì)算材料量。標(biāo)準(zhǔn)的流量計(jì)以材料的體積來(lái)測(cè)量，由于溫度和壓力的不同，同樣體積的材料所含的物質(zhì)量可能不同。半導(dǎo)體工藝用熱型的質(zhì)量流量計(jì)，這個(gè)系統(tǒng)包含一個(gè)有兩個(gè)傳感器的加熱氣體的通道。當(dāng)沒(méi)有氣體流過(guò)時(shí)，溫度傳感器的溫度相同；當(dāng)有氣體流動(dòng)時(shí)，下游的傳感器讀數(shù)比較高。兩個(gè)傳感器的讀數(shù)偏差與流過(guò)的熱質(zhì)量（而非體積）有關(guān)。控制器由反饋機(jī)構(gòu)來(lái)控制氣體以穩(wěn)定的、一定量的質(zhì)量流過(guò)質(zhì)量流量計(jì)。氣體源也有一個(gè)由微處理器控制的閥門來(lái)計(jì)量氣體以一定的次序和一定的時(shí)間流人爐管．，圖7. 19顯示廠一個(gè)質(zhì)量流量計(jì)的基本結(jié)構(gòu)。質(zhì)量流量計(jì)可以被設(shè)計(jì)為一個(gè)定量值，并由在線傳感器檢測(cè)和用反饋輸出控制系統(tǒng)控制輸出量¨？。氣體流量控制器中的管路材料是不銹鋼材料，用來(lái)保持高潔凈度，使氣體與爐管材料之間的化學(xué)反應(yīng)達(dá)到最小化。

    囹7. 19質(zhì)量流量計(jì)

   氣體有來(lái)自廠房設(shè)施的液態(tài)氣源或附著在機(jī)器內(nèi)部的小瓶氣源( lecture  bottle)，經(jīng)過(guò)管道流入氣體控制器。

   有些工藝要求的化學(xué)氣體以氣體形式傳輸起來(lái)非常困難。在這種情況下，氣泡發(fā)生器和液體源就應(yīng)運(yùn)而生了。氣泡器包含一個(gè)石英部件，它用來(lái)使氣體液化。當(dāng)氣泡通過(guò)液體，與在氣泡器頂端的源氣體混合，由載體氣體攜帶進(jìn)入爐管。氣泡器被用在氧化、擴(kuò)散和化學(xué)氣相淀積工藝中。