凈化間的設(shè)計(jì)是要使生產(chǎn)無(wú)污染晶圓的能力更完整化。設(shè)計(jì)時(shí)的主要思路是保持加l：中空氣的潔凈。HEF4001BTR自動(dòng)化生產(chǎn)也是降低污染的一種重要方法。這個(gè)問(wèn)題將于“工藝設(shè)備”p與第15章展開講述，共有4種不同的凈化間設(shè)計(jì)方法：

   1．潔凈-1：作臺(tái)

   2．隧道型設(shè)計(jì)

   3．微局部環(huán)境

   4．晶圓隔離技術(shù)( WIT)

    潔凈工作臺(tái)法

   半導(dǎo)體I：業(yè)采用凈化問(wèn)技術(shù)最初是由NASA（美國(guó)航空航天局）為組裝航天器和IJ星而開發(fā)的。、然I斫，！與擴(kuò)大到需要擁有更多工人的更大牛產(chǎn)區(qū)域時(shí)，足以裝配衛(wèi)星的小型凈化問(wèn)小能維持。該問(wèn)題可以用凈化間工作臺(tái)方法補(bǔ)救。主要是把過(guò)濾器裝在單個(gè)，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)．在T作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存和運(yùn)輸。