工作臺分為兩種．，HEPA/UI)PA過濾器裝于潔凈工作臺頂部，如圖5.9所示．室內(nèi)HEF4011BTR空氣由風扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出，存【作臺表面改變方向，流出工作臺，安裝擋板可控制品圓表面空氣流動的方向，通常這種方式稱為空氣層流立式( VLF)工作臺，它是由空氣流的方向命名的。對于化學晶處理，將凈化罩連接到工廠的包含氣體的尾氣系統(tǒng)，流入去除廢氣液體化學品的排泄系統(tǒng)（見圖5. 10）．、

   這兩種工作臺按兩種方法來保持晶圓清潔。j首先是工作臺內(nèi)的空氣凈化；其次，凈化過程在工作臺內(nèi)產(chǎn)生一點空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進入工作臺。

   基本凈化工作臺設計還可應用于現(xiàn)代晶圓加工設備中。在每臺設備E安裝VLF或HLF式工作臺來保持晶圓在裝卸過程中的潔凈度（見第15章）。