空氣壓力：平衡凈化間、更衣問和廠區(qū)之間的壓力也是設(shè)計中主要的部分。優(yōu)秀HEF4093BTR的廠房設(shè)計要求3個區(qū)域的空氣壓力要平衡，已達到凈化間的空氣壓力最高，更衣間次之，而廠區(qū)和走廊最低。，當凈化間的門打開時，相對的高壓可防止空氣灰塵進入。在自包含工藝設(shè)備中，裝載部分相對于一般加工區(qū)將保持正壓。

   風淋間：凈化間設(shè)汁的最后部分是在凈化間與更衣間之間建造一個風淋間。凈化間工作人員進入風淋間，高速流動的空氣吹掉潔凈服外面的顆粒．．并且風淋間裝有互鎖系統(tǒng)，防止前后門同時打開。

   維修區(qū)：凈化間實際上是一系列房間（如圖5.16所示），這一系列的每一間都是作為凈化間的維修區(qū)域。中央是工藝凈化間。，周圍是維修區(qū)，按照指定的潔凈級別維護，一般來講要求它的潔凈級別數(shù)高于凈化間。通常維修區(qū)域的級別為1000級或10 000級，這里包括1“：藝化學品傳輸管道、電纜和凈化間物品。主要工藝設(shè)備裝于墻后的維修區(qū)內(nèi)，面對凈化間，這樣可使技術(shù)員在凈化間外維護設(shè)備，而不必進入凈化間。

   圖5. 16微小環(huán)境系統(tǒng)要素