在制造工廠中，用于 HPA01217DRZR刻蝕和清洗晶圓和設(shè)備的酸、堿、溶劑必須是最高純度的。涉及的污染物有金屬離子微粒和其他化學(xué)品。與水不同的是，工藝化學(xué)品是采購來的，直接運輸?shù)?/span>L廠后使用。工業(yè)化學(xué)品分不同級別，它們分一般商業(yè)純度、化純度、電子級和半導(dǎo)體級，、前兩種對F半導(dǎo)體使用來說過臟，電子級與半導(dǎo)體級相對潔凈砦，但不同制造商所生產(chǎn)化學(xué)品的潔凈度也是不同的。

   像SEMI這樣的商業(yè)組織為整個行業(yè)建立r潔凈度的規(guī)范，但是大多數(shù)半導(dǎo)體廠按照自己內(nèi)部的規(guī)范采購化學(xué)品�；瘜W(xué)晶的主要污染是可移動的金屬離子，通常必須限制為百萬分之l( ppm)級或更低。一些供應(yīng)商可制造MIC級的化學(xué)品，含量僅僅}‘億分之J( ppb)。微粒過濾器的級別被規(guī)定為0.2 ym或更低，，

   化學(xué)品的純度由成分來表示。成分?jǐn)?shù)就是指容器內(nèi)所含化學(xué)品的百分?jǐn)?shù)。例如，一瓶99.9%的硫酸表示含有99.9%的純硫酸和0.01%的其他溶液。

   把化學(xué)品傳輸至工藝加工區(qū)域不只包括保持化學(xué)品的潔凈，包括對容器內(nèi)表面的清潔、使用不易溶解的材質(zhì)的容器、不產(chǎn)生微粒的標(biāo)識牌，并在運輸前把瓶放置化學(xué)品袋中。化學(xué)品的瓶現(xiàn)只用于老式、技術(shù)較低的制造廠中。許多公司采用大量購入方式買人潔凈工藝化學(xué)品，然后倒入小罐中，并通過管道從中央系統(tǒng)傳人工藝工作臺，或者從小瓶直接傳輸?shù)?/span>1：藝f作臺。，大批量化學(xué)品傳輸系統(tǒng)( BCDS)呵以提供更潔凈的化學(xué)品且費用較低。另外特

別要滓意定期清潔管道和運輸瓶以防止污染。另一個特殊問題是當(dāng)把化學(xué)品倒入另一種化學(xué)品瓶中時會產(chǎn)生交互污染。每種化學(xué)品的化學(xué)品瓶應(yīng)專用。